[发明专利]基板检查装置的对准方法以及基板检查装置

权利要求书

1.一种调整检查夹具与被检查基板的位置关系的基板检查装置的对准方法，其中，设置在基板检查装置的夹具设置部上的所述检查夹具具有可接近、离开设置在基板设置部上的被检查基板并分别与设定在上述被检查基板上的多个检查点接触的多个检查销，所述方法的特征在于具备以下步骤：

测量在设置于上述夹具设置部上的上述检查夹具上设置的上述多个检查销中的一部分或全部检查销的在XY方向的销位置从设计位置的偏移，对所测量到的偏移进行平均并取得销平均偏移，并测量设置在上述检查夹具上的夹具位置标记的在XY方向的位置从设计位置的偏移并取得夹具位置标记偏移的步骤；

将所取得的上述销平均偏移和上述夹具位置标记偏移单独地或合成并登记在上述基板检查装置中的步骤；

利用设置在上述基板检查装置上的夹具照相机拍摄在上述夹具设置部上设置的上述检查夹具的上述夹具位置标记，根据基于所拍摄图像中的上述夹具位置标记的位置而检测到的上述夹具位置的在XY方向的位置、以及单独地或合成并预先登记的上述销平均偏移和上述夹具位置标记偏移，来取得与上述检查夹具的在XY方向的位置有关的夹具位置信息的步骤；

利用设置在上述基板检查装置上的基板照相机拍摄在上述基板设置部上设置的上述被检查基板，并根据所拍摄图像取得与上述被检查基板的在XY方向的位置有关的基板位置信息的步骤；以及

根据所取得的上述夹具位置信息和上述基板位置信息，来调整上述检查夹具和上述被检查基板的至少一方的位置，使得上述检查夹具的在XY方向的位置与上述被检查基板的在XY方向位置相对应的步骤。

2.如权利要求1所述的基板检查装置的对准方法，其特征在于，

将预先取得的上述销平均偏移和上述夹具位置标记偏移登记在上述基板检查装置中的上述步骤是伴随着将设置在上述夹具设置部上的上述检查夹具更换而执行的。

3.如权利要求1或2所述的基板检查装置的对准方法，其特征在于，还具备以下步骤：

将与设置在上述夹具设置部上的上述检查夹具的沿Z方向的高度有关的高度信息登记在上述基板夹具装置中的步骤；

利用设置在上述基板检查装置上的基板表面位置检测部，检测设置在上述基板设置部上的上述被检查基板的表面的位置的步骤；以及

根据检测到的上述被检查基板的表面的位置信息和所登记的上述高度信息，确定使上述检查夹具接近并接触上述被检查基板时上述检查夹具在Z方向的移动距离的步骤。

4.一种检查设置在被检查基板上的布线图案的电特性的基板检查装置，其特征在于，具备：

检查夹具，具有与设定在上述被检查基板上的多个检查点分别接触的多个检查销；

夹具升降驱动机构，使上述被检查夹具在Z轴方向上升降而接近、离开设置在规定的基板设置部上的上述被检查基板；

夹具照相机，拍摄设定在上述检查夹具上的夹具位置标记；

基板照相机，拍摄上述被检查基板；

位置调整机构，调整上述检查夹具和上述被检查基板的至少一方的在XY方向的位置；

电特性检查部，经由上述检查夹具的上述检查销检测上述被检查基板的上述布线图案的电特性；以及

控制部，控制上述夹具升降驱动机构、上述夹具照相机、上述基板照相机、上述位置调整照机构以及上述电特性检测部，并根据上述电特性检测部的检测结果进行上述被检查基板的好坏判定，

其中，上述控制部

测量设定在上述检查夹具上的上述多个检查销中的一部分或全部的检查销的在XY方向的销位置从设计位置的偏移，将通过对所测量到的偏移进行平均而得到的销平均偏移和通过测量设定在上述检查夹具上的夹具位置标记的在XY方向的位置从设计位置的偏移而得到的夹具位置标记偏移单独地或合成而预先登记，并且

根据基于上述夹具照相机的拍摄图像中的上述夹具位置标记的位置所检测到的上述检查夹具的在XY方向的位置和单独地或合成而预先登记的上述销平均偏移以及上述夹具位置标记偏移，取得与上述检查夹具的在XY方向的位置有关的夹具位置信息，

根据上述基板照相机的拍摄图像来取得与上述被检查基板的在XY方向的位置有关的基板位置信息，以及

根据所取得的上述夹具位置信息和上述基板位置信息，经由上述位置调整机构调整上述检查夹具以及上述被检查基板的至少一方的位置，使得上述检查夹具的在XY方向的位置与上述被检查基板的在XY方向的位置相对应。