[发明专利]用于半导体工艺中的烷氧基硅烷水解反应的催化剂和包含其的制剂

权利要求书

1.制剂，其选自：

(1)制剂A，其包含：

(a)包括具有式Si(OR¹)_nR²_4-n的烷氧基烷基硅烷的含硅前体；和(b)包括具有式XSi(OR¹)_nR²_3-n的卤代烷氧基烷基硅烷的催化剂；其中R¹选自C₁-C₁₂直链或支链烷基、C₃-C₁₂芳基、C₃-C₁₂环烷基、C₂-C₁₂链烯基和C₂-C₁₂炔基；R²选自C₁-C₁₂直链或支链烷基、C₃-C₁₂芳基、C₂-C₁₂链烯基、C₂-C₁₂炔基和氢原子；其中当R¹是甲基时，R²不是氢；n是1-4的整数；和X选自Cl、Br和I，其中所述含硅前体和催化剂化合物具有至少相同的R¹；

和

(2)制剂B，其包含

(a)包括具有式R²_3-p(R¹O)_pSi-R³-Si(OR¹)_pR²_3-p的化合物的含硅前体；和(b)包括具有式(R¹O)_mR²_2-m(X)Si-R³-Si(OR⁴)₂R⁵的卤代烷氧基烷基硅烷的催化剂；其中R¹和R⁴各自独立地选自C₁-C₁₂直链或支链烷基、C₃-C₁₂芳基、C₃-C₁₂环烷基、C₂-C₁₂链烯基和C₂-C₁₂炔基；R²选自C₁-C₁₂直链或支链烷基、C₃-C₁₂芳基、C₃-C₁₂环烷基、C₂-C₁₂链烯基、C₂-C₁₂炔基和氢原子；其中R¹和R²是相同或不同；R³选自C_1-10链烷二基、C_2-10链烯二基、C_2-10炔二基、C_3-10环烷二基、C_5-10环烯二基、C_6-10双环烷二基、C_6-10环烯二基、C_6-10芳二基；和R⁵选自直链或支链的C₁-C₁₂烷基、C₄-C₁₂芳基、C₃-C₁₂环烷基、C₂-C₁₂链烯基、C₂-C₁₂炔基和直链或支链的C₁-C₁₂烷氧基；X选自F、Cl、Br和I；m是1-2的整数；和p是1-3的整数，其中所述含硅前体和催化剂化合物具有至少相同的R¹。