[发明专利]搬运装置

权利要求书

1.一种搬运装置，所述搬运装置包括：

搬运室，所述搬运室具有由壁围绕的大致矩形体的基板搬运空间，并且所述搬运室具有多个连接口部，这些连接口部在周壁的长侧壁中并排地设置，用于与外界连通；

机器人，所述机器人设置在所述搬运室的一个长侧壁附近，所述机器人的底端设置在基座上以借助臂支轴水平地旋转，并且所述机器人的前端设置有单个臂，在所述臂上设置有用于水平地旋转的手，所述手保持通过所述连接口部而被搬入和搬出的基板；以及

线性移动机构，所述线性移动机构具有轨道，所述机器人沿着所述轨道在所述搬运室的纵向方向上线性地移动，其中：

所述机器人的所述臂被限定为具有如下长度，该长度使得即使所述臂绕所述臂支轴旋转所述臂也不会与另一长侧壁干涉；并且

所述线性移动机构的所述轨道具有如下长度，该长度使得与所述轨道垂直的所述手的前端到达所述多个连接口部之中的位于端部处的连接口部中的预定位置。

2.根据权利要求1所述的搬运装置，其中：

所述多个连接口部中的至少一个连接口部沿长侧壁的纵向方向定位在该长侧壁的大致中央；并且

所述线性移动机构的所述轨道具有如下长度，该长度使得与所述轨道垂直的所述手的前端到达定位在大致中央处的所述连接口部中的预定位置。

3.根据权利要求1所述的搬运装置，其中，所述线性移动机构的所述轨道被限定为具有如下最小必要长度，该最小必要长度使得与所述轨道垂直的所述手的前端到达所述多个连接口部之中的位于端部处的连接口部中的预定位置。

4.根据权利要求2所述的搬运装置，其中，所述线性移动机构的所述轨道被限定为具有如下最小必要长度，该最小必要长度使得与所述轨道垂直的所述手的前端到达所述多个连接口部之中的位于端部处的连接口部中的预定位置。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的搬运装置，所述搬运装置还包括控制装置，所述控制装置执行所述机器人的操作控制以及所述线性移动机构的操作控制，其中所述机器人的操作控制包括所述臂的旋转操作。

6.根据权利要求5所述的搬运装置，其中，所述控制装置同步地致动所述线性移动机构以及所述机器人的至少所述臂。

7.根据权利要求1所述的搬运装置，其中，所述线性移动机构包括线性致动器，所述线性致动器与所述基座一起运送所述机器人。

8.根据权利要求1所述的搬运装置，其中，所述线性移动机构的所述轨道设置在所述一个长侧壁中。

9.根据权利要求1所述的搬运装置，其中：

所述线性移动机构具有收纳框架，所述收纳框架沿着所述轨道移动；并且

所述机器人被设置在所述收纳框架中。