[发明专利]一种蚀刻液组合物在审
| 申请号： | 201310011820.6 | 申请日： | 2013-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN103924243A | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | 李水峰;苏双峰;季冬晨;刘翘楚 | 申请（专利权）人： | 上海飞凯光电材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/14 | 分类号： | C23F1/14;C23F1/18;C23F1/34 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 刘映东 |
| 地址： | 201206 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 组合 | ||
【权利要求书】：
1.一种蚀刻液组合物，包括0.5-10%的过硫酸盐、0.5-30%的铵盐及60-99%的水，以上均为重量百分比。
2.如权利要求1所述的蚀刻液组合物，其特征在于，包括3-8%的过硫酸盐、3-15%的铵盐及77-94%的水，以上均为重量百分比。
3.如权利要求1或2所述的蚀刻液组合物，其特征在于，所述过硫酸盐为过硫酸氢钾、过硫酸铵、过硫酸钾或过硫酸钠中的一种或一种以上组合。
4.如权利要求1-3任一项权利要求所述的蚀刻液组合物，其特征在于，所述铵盐为氯化铵、硫酸铵、碳酸铵、碳酸氢铵、乙酸铵及硝酸铵中的一种或一种以上组合。
5.如权利要求4所述的蚀刻液组合物，其特征在于，所述铵盐为硫酸铵、碳酸铵、乙酸铵及硝酸铵中的一种或一种以上组合。
6.如权利要求1所述的蚀刻液组合物，其特征在于，还包括pH调节剂，所述蚀刻液组合物的pH值为5-11。
7.如权利要求6所述的蚀刻液组合物，其特征在于，所述蚀刻液组合物的pH值为5.5-9。
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