[发明专利]三氯氢硅精馏过程中的无水型冷凝、再沸系统及方法

权利要求书

1.一种三氯氢硅精馏过程中的无水型冷凝、再沸系统，其特征是塔顶冷凝器的冷却介质采用液态三氯氢硅或液态四氯化硅或液态二氯氢硅作冷却介质；塔底再沸器采用三氯氢硅高温蒸汽或四氯化硅高温蒸汽或二氯氢硅高温蒸汽作加热介质。

2.如权利要求1所述的三氯氢硅精馏过程中的无水型冷凝、再沸系统，其特征是所述的精馏塔顶冷凝器的冷凝介质和塔底再沸器的加热介质是相同的物质或是不同的物质。

3.权利要求1所述的三氯氢硅精馏过程中的无水型冷凝、再沸方法，其特征是精馏塔的塔顶冷凝器的冷却介质的进口温度比待冷却的塔顶蒸汽低；精馏塔的塔底再沸器加热介质的进口温度比待加热的塔底液体高。