[发明专利]研磨制品及其形成方法

权利要求书

1.一种形成粘结研磨制品的方法，所述方法包括：

形成包含粘结材料、研磨颗粒的生坯，所述研磨颗粒包含超级研磨材料；和

使所述超级研磨材料中的至少一部分转化为气相材料并形成基本上不含结晶碳化硅的粘结研磨体。

2.根据权利要求1所述的方法，所述方法还包括在形成所述生坯之前形成所述粘结材料和所述研磨颗粒的混合物。

3.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述粘结材料包含无机材料，其中所述粘结材料包含玻璃相材料，其中所述粘结材料包含氧化物材料，其中所述粘结材料包含基于二氧化硅的材料，其中所述粘结材料包含至少约50摩尔％的二氧化硅(SiO₂)、至少约52摩尔％的二氧化硅并且包含不大于约70摩尔％、不大于约65摩尔％的二氧化硅。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述粘结材料包含不大于约4摩尔％的含量的氧化铝(Al₂O₃)、不大于约3摩尔％的氧化铝并且包含至少约0.5摩尔％的氧化铝、至少约1摩尔％的氧化铝。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述粘结材料包含至少约16摩尔％、至少约17摩尔％、至少约20摩尔％并且不大于约30摩尔％、不大于约26摩尔％的含量的氧化硼(B₂O₃)。

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述粘结材料包含不大于约9摩尔％、不大于约8摩尔％、不大于约7摩尔％、不大于约3摩尔％并且包含至少约0.5摩尔％、至少约1摩尔％的氧化钙(CaO)。

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述粘结材料包含至少约0.2摩尔％、至少约0.5摩尔％、至少约1摩尔％并且不大于约6摩尔％、不大于约4摩尔％的氧化钡(BaO)。

8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述粘结材料包含至少约2摩尔％、至少约2.5摩尔％并且不大于约8摩尔％、不大于约6摩尔％的氧化钾(K₂O)。

9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述粘结材料包含至少约0.5摩尔％、至少约0.8摩尔％、至少约1摩尔％并且不大于约9摩尔％、不大于约7摩尔％的氧化锂(Li₂O)。

10.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述粘结材料包含不大于约14摩尔％、不大于约12摩尔％、不大于约10摩尔％、不大于约8摩尔％、不大于约6摩尔％并且至少约0.5摩尔％、至少约1摩尔％、至少约3摩尔％的氧化钠(Na₂O)。

11.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述粘结材料包含至少约0.5摩尔％、至少约0.8摩尔％、至少约1摩尔％并且不大于约5摩尔％、不大于约4摩尔％的氧化锌(ZnO)。

12.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述粘结材料包含不大于约9ppm/℃、不大于约8.5ppm/℃、不大于约8ppm/℃、不大于约7.8ppm/℃、至少约2ppm/℃、至少约3ppm/℃的线性热膨胀系数(CTE)(在300℃下)。

13.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述粘结材料和所述研磨颗粒具有不大于约5.5ppm/℃的ΔCTE，其中ΔCTE定义为所述粘结材料的CTE与所述研磨颗粒的CTE之间的差异，其中所述ΔCTE不大于约5ppm/℃，其中所述ΔCTE不大于约4.5ppm/℃，其中所述ΔCTE不大于约4ppm/℃，其中所述ΔCTE不大于约3.8ppm/℃，其中所述ΔCTE为至少约0.2ppm/℃。

14.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述粘结材料包含不大于约560℃、不大于约550℃、不大于约540℃、至少约200℃、至少约250℃的软化点温度。

15.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述超级研磨材料包含金刚石，其中所述超级研磨材料为金刚石，其中所述超级研磨材料基本上由金刚石组成，其中所述超级研磨材料不包含碳化硅，其中所述超级研磨材料包含金刚石和仅无定形形式的碳化硅。