[发明专利]混合气体制作方法以及气体混合装置有效
申请号: | 201280059764.7 | 申请日: | 2012-11-20 |
公开(公告)号: | CN103974760A | 公开(公告)日: | 2014-08-06 |
发明(设计)人: | 高见泽一彦;三吉敬 | 申请(专利权)人: | 日酸田中株式会社 |
主分类号: | B01F15/04 | 分类号: | B01F15/04;B01F3/02;B01F5/00 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 混合气体 制作方法 以及 气体 混合 装置 | ||
1.一种气体混合装置,通过混合主气体与附加气体生成混合气体,所述气体混合装置的特征在于,包括:
主气体流路,其供应主气体;
附加气体流路,其供应附加气体;
混合部,其使所述主气体流路与所述附加气体流路相连接,混合主气体与附加气体,并将生成的混合气体向混合气体排出口排出;以及
流量控制部,
所述主气体流路中设置有根据所述附加气体流路内的附加气体的压力调节所述主气体流路内的主气体的压力的先导式压力调节部、以及检测所述主气体流路内的经压力调节后的主气体的流量的主气体流量检测单元,
所述附加气体流路中设置有调节从所述附加气体流路向所述混合部流通的附加气体的流量的附加气体流量调节单元,
所述流量控制部根据所述主气体流量检测单元检测出的主气体的流量,通过所述附加气体流量调节单元对流通至所述混合部的附加气体的流量进行控制。
2.一种混合气体制作方法,通过混合主气体与附加气体生成混合气体,所述混合气体制作方法的特征在于,包括:
向主气体流路供应主气体并向附加气体流路供应附加气体;
根据所述附加气体流路内流通的附加气体的压力调节所述主气体流路流通的主气体的压力;
根据在所述主气体流路内经压力调整后的主气体的流量调节从所述附加气体流路向所述混合部流通的附加气体的流量;以及
在所述混合部中使主气体与附加气体按规定比例混合。
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