[发明专利]有机半导体元件的制造方法、有机半导体元件、有机单晶体薄膜的成长方法、有机单晶体薄膜、电子设备及有机单晶体薄膜组无效
申请号: | 201280052849.2 | 申请日: | 2012-10-25 |
公开(公告)号: | CN103907178A | 公开(公告)日: | 2014-07-02 |
发明(设计)人: | 后藤修;保原大介;村上洋介 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
主分类号: | H01L21/368 | 分类号: | H01L21/368;H01L21/336;H01L29/786;H01L51/05;H01L51/40 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机半导体 元件 制造 方法 有机 单晶体 薄膜 成长 电子设备 | ||
技术领域
本公开涉及有机半导体元件的制造方法、有机半导体元件、有机单晶体薄膜的成长方法、有机单晶体薄膜、电子设备及有机单晶体薄膜组。
背景技术
近年来,已经使用有机半导体晶体薄膜广泛地引领有机半导体元件的研究和开发。对于有机半导体元件来说重要的是控制有机半导体晶体薄膜的位置、尺寸、晶体方位等。
传统上,已对有机半导体晶体薄膜的成长方法提出了下面的方法(参见非专利文献1)。即,其为挡片(barrage)的硅片被设置在在其表面上形成SiO2膜的掺杂的硅基板上。在其中硅基板相对于水平平面倾斜状态下,由包含[1]苯并噻吩[3,2-b]苯并噻吩衍生物(C8-BTBT)的原料溶液组成的液滴被保持在硅片的下边缘上。然后,液滴被干燥,由此,允许由C8-BTBT组成的有机半导体晶体薄膜从液滴的下侧朝其上侧在硅片上成长。据报道,这种有机半导体晶体薄膜获得了高电子迁移率(5cm2/Vs)。
参考文献列表
专利文献
专利文献1:JP2010-6794A
非专利文献
非专利文献1:T.Uemura,Y.Hirose,M.Uno,K.Takimiya和J.Takeya:Applied Physics Express2(2009)111501
非专利文献2:N.Kobayashi,M.Sasaik和K.Nomoto:Chem.Mater.21(2009)552
发明内容
技术问题
然而,在非专利文献1中提出的有机半导体晶体薄膜的传统的成长方法具有完全不能控制位置、尺寸和晶体方位的缺点。
因此,根据本公开的要解决的问题提供了有机单晶体薄膜的成长方法和有机单晶体薄膜,该方法能够控制各种有机单晶体薄膜(诸如有机半导体单晶体薄膜)的位置、尺寸、结晶方位等。
根据本公开要解决的另一个问题提供了使用上述的有机单晶体薄膜的成长方法的有机半导体元件的制造方法、使用允许通过该成长方法成长的有机半导体单晶体薄膜的有机半导体元件。
根据本公开要解决的又一个问题提供了一种使用上述有机半导体元件的电子设备。
根据本公开要解决的又一个问题提供了一种有机单晶体薄膜组,其中诸如有机半导体单晶体薄膜的各种有机单晶体薄膜的晶体方位彼此一致。问题的解决方案
为了解决上述问题,本公开提供了一种有机半导体元件的制造方法,包括:将通过在溶剂中溶解有机化合物所获得的不饱和的有机溶液供应给基体的成长控制区域和至少一个成核控制区域的步骤,基体在一个主平面上具有述成长控制区域和与成长控制区域耦接并被设置在成长控制区域的一边上的成核控制区域;以及通过蒸发有机溶液的溶剂允许由有机化合物组成的有机半导体单晶体薄膜成长的步骤。
进一步地,本公开提供了有机半导体元件,其通过以下方式制造:将通过在溶剂中溶解有机化合物所获得的不饱和的有机溶液供应给基体的成长控制区域和至少一个成核控制区域,基体在一个主平面上具有成长控制区域和与成长控制区域耦接并被设置在成长控制区域的一边上的成核控制区域;以及通过蒸发有机溶液的溶剂允许由有机半导体组成的有机化合物单晶体薄膜成长。
进一步地,本公开提供了一种具有通过以下方式制造的有机半导体元件的电子设备:将通过在溶剂中溶解有机化合物所获得的不饱和的有机溶液供应给基体的成长控制区域和至少一个成核控制区域,基体在一个主平面上具有成长控制区域和与成长控制区域耦接并被设置在成长控制区域的一边上的成核控制区域;以及通过蒸发有机溶液的溶剂允许由有机化合物组成的有机半导体单晶体薄膜成长。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造