[发明专利]制造方法及其所用设备

权利要求书

1.一种使用机器在基底上的至少一个部件区域中制造至少一个部件的方法，所述机器具有相对于所述基底可相对移动的基底加工部，所述方法包括：

至少在所述基底加工部和基底处在所述基底加工部能够加工所述基底上的所述至少一个部件区域的位置关系时，通过读取由所述基底提供的至少第一计量标尺来测量所述基底加工部相对于所述基底的位置。

2.根据权利要求1所述的方法，所述方法包括使用所述至少第一计量标尺监测所述基底加工部和所述基底的相对位置。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述方法包括控制系统从位于所述机器上的读取所述至少第一计量标尺的位置传感器接收位置信息，并根据所述位置信息控制所述机器的所述基底加工部和所述基底的相对移动。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，所述方法进一步包括在所述基底上形成所述至少第一计量标尺。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，所述方法进一步包括建立用于所述至少第一计量标尺的误差图和/或误差函数，并使用所述误差图或所述误差函数来校正所述机器的所述基底加工部和所述基底的相对位置的测量结果。

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，所述方法包括：至少在第二基底加工部和所述基底处在所述第二基底加工部能够加工所述基底上的所述至少一个部件区域的位置关系时，通过读取由所述基底提供的至少第一计量标尺来测量所述第二基底加工部相对于所述基底的位置。

7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述基底包括至少第一辅助计量标尺，所述至少第一辅助计量标尺包括一系列位置标记，所述一系列位置标记在与所述第一计量标尺的方向不同的方向上延伸。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，所述第一辅助计量标尺包括正交于所述第一计量标尺延伸的一系列位置标记。

9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述一系列位置标记限定绝对位置信息。

10.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述基底包括多个部件区域，并且其中针对所述基底加工部能够分别加工所述基底上的第一和第二部件区域的至少第一和第二位置关系，通过读取由所述基底提供的至少第一计量标尺来测量所述基底加工部相对于所述基底的位置。

11.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述基底包括平板显示器片材，并且其中部件区域包括平板显示器区域，平板显示器将在所述平板显示器区域中制造。

12.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述基底包括柔性基底。

13.根据权利要求12所述的方法，其中，所述机器包括卷对卷式加工机器，所述卷对卷式加工机器包括多个卷轴，所述柔性基底相对于所述至少一个基底加工部在所述多个卷轴之间穿过。

14.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述至少第一计量标尺包括直接形成在所述基底上和/或所述基底中的一系列标记。

15.用于在基底上制造至少一个部件的设备，所述设备包括：

机器，所述机器包括用于加工基底的至少一个部件区域的基底加工部，所述基底加工部和基底可相对于彼此移动，使得它们能够移动进入所述基底加工部能够加工所述基底上的所述至少一个部件区域的位置关系；

至少一个位置传感器，所述至少一个位置传感器被构造成使得在所述基底加工部和基底处在所述位置关系时，所述位置传感器能够读取由所述基底提供的标尺；和

控制系统，所述控制系统被构造成接收来自所述至少一个位置传感器的读数，并测量所述基底加工部和所述至少一个部件区域的相对位置。

16.一种基底，所述基底包括将被制成至少一个部件的至少一个部件区域，所述基底具有至少第一计量标尺，所述至少第一计量标尺沿着所述基底在第一维度上至少延伸与所述至少一个部件区域在该第一维度上测得的长度相同的长度，使得在基底加工部相对于所述基底处在用于加工所述至少一个部件区域的相对关系时，所述至少第一计量标尺能够被读取从而测量它们的相对位置。

17.根据权利要求16所述的基底，其中，所述基底包括平板显示器基底，所述平板显示器基底包括将被制成平板显示器的至少一个平板显示器区域。