[发明专利]基底处理工具

权利要求书

1.一种基底处理设备，包括： 

框架；

连接到所述框架上的第一SCARA臂，所述第一SCARA臂包括末端执行器且构造成用以沿第一径向轴线延伸和收缩；

连接到所述框架上的第二SCARA臂，所述第二SCARA臂包括末端执行器且构造成沿第二径向轴线延伸和收缩，所述第一SCARA臂和所述第二SCARA臂具有公共的肩部旋转轴线；以及

联接到所述第一臂和所述第二臂上的驱动区段，所述驱动区段构造成使所述第一SCARA臂和所述第二SCARA臂中的各个沿相应的径向轴线独立地延伸，且使所述第一SCARA臂和所述第二SCARA臂中的各个围绕所述公共肩部旋转轴线旋转，其中所述第一径向轴线相对于所述第二径向轴线成角，且相应的臂的所述末端执行器与相应的径向轴线对准；

其中各个末端执行器构造成用以保持至少一个基底，且所述末端执行器位于公共传递平面上。

2.根据权利要求1所述的基底处理设备，其特征在于，所述基底处理设备还包括控制器，所述控制器连接到所述驱动区段上且构造成用以实现所述驱动区段的操作，以大致防止所述相应至少一个基底输送期间所述第一SCARA臂与所述第二SCARA臂之间的干扰。

3.根据权利要求1所述的基底，其特征在于，所述驱动区段包括四个自由度的驱动系统。

4.根据权利要求1所述的基底处理设备，其特征在于，所述驱动区段包括同轴的轴驱动布置。

5.根据权利要求1所述的基底处理设备，其特征在于，

所述第一SCARA臂包括在所述公共肩部轴线处连接到所述驱动区段上的上臂、在肘部轴线处连接到所述上臂上的前臂，以及在腕部轴线处连接到所述前臂上的所述末端执行器；以及

所述第二SCARA臂包括在所述公共肩部轴线处连接到所述驱动区段上的上臂、在肘部轴线处连接到所述上臂上的前臂，以及在腕部轴线处联接到所述前臂上的所述末端执行器。

6.根据权利要求5所述的基底处理设备，其特征在于，所述前臂以相对的构造相对于彼此布置，使得所述第一SCARA臂的前臂位于相应的上臂的上表面上，且所述第二SCARA臂的前臂位于相应的上臂的底部表面上。

7.根据权利要求1所述的基底处理设备，其特征在于，所述驱动区段包括连接到所述第一SCARA臂和所述第二SCARA臂上的三个自由度的驱动系统，使得所述第一SCARA臂的上臂与所述第二SCARA臂的上臂之间的角在所述臂围绕所述公共肩部轴线旋转时大致固定。

8.根据权利要求1所述的基底处理设备，其特征在于，所述末端执行器中的各个均安装到相应的臂上，使得所述末端执行器之间的角大致匹配由各个臂可接近的径向相邻的基底保持站之间的角。

9.根据权利要求1所述的基底处理设备，其特征在于，所述基底处理设备还包括连接到至少所述驱动区段上的控制器和连接到所述控制器上的至少一个传感器，所述控制器构造成用以获得来自于所述至少一个传感器的基底检测信号，且将偏移施加至所述第一臂和所述第二臂中的一者的末端执行器的位置，其中所述偏移取决于至少所述基底输送设备的热膨胀来计算。

10.根据权利要求1所述的基底处理设备，其特征在于，所述第一臂构造成用以允许所述第二臂穿过所述第一臂的上臂与前臂之间。

11.一种基底处理设备，包括： 

框架；

连接到所述框架上的第一SCARA臂，所述第一SCARA臂包括上臂、可旋转地联接到所述上臂上的前臂，以及可旋转地联接到所述前臂上的末端执行器，其中所述上臂和所述前臂具有不等的长度，所述第一SCARA臂构造成沿第一径向轴线延伸和收缩；

连接到所述框架上的第二SCARA臂，所述第二SCARA臂包括上臂、可旋转地联接到所述上臂上的前臂，以及可旋转地联接到所述前臂上的末端执行器，其中所述上臂和所述前臂具有不等的长度，所述第二SCARA臂构造成沿第二径向轴线延伸和收缩，所述第一SCARA臂和所述第二SCARA臂的上臂具有公共的肩部旋转轴线；以及

联接到所述第一臂和所述第二臂上的驱动区段，所述驱动区段构造成用以使所述第一SCARA臂和所述第二SCARA臂中的各个沿相应的径向轴线独立地延伸，且使所述第一SCARA臂和所述第二SCARA臂中的各个围绕公共的肩部旋转轴线旋转，其中所述第一径向轴线相对于所述第二径向轴线成角。