[发明专利]具有测量单元的蒸发系统

说明书

技术领域

本发明的实施例涉及一种在真空设施中使用的蒸发系统、一种包括所述蒸发系统的涂敷设施、以及一种使用所述涂敷设施的方法。本发明的实施例具体地涉及一种蒸发系统、一种具有这种蒸发系统的涂敷设施、以及一种使用所述涂敷设施的方法，其中所述蒸发系统一般用于有机材料且具有测量系统，所述测量系统用于测量涂敷速率。

背景技术

有机蒸发器是用于生产有机发光二极管（OLED）的必要工具。OLED是一种特殊类型的发光二极管，在OLED中发光层包含某些有机化合物薄膜。此类系统可用于电视屏幕、计算机显示器、便携式系统屏幕等等。OLED还可以用于一般的空间照明。使用OLED显示器时可允许的颜色、亮度以及视野角度的范围大于使用传统LCD显示器时的可允许的颜色、亮度以及视野角度的范围，因为OLED像素直接发光并且不需要背景光。因此，OLED显示器的能量消耗比传统LCD显示器的能量消耗少得多。此外，OLED可制造在柔性基板上的事实使新的应用成为可能，所述新的应用诸如可卷曲显示器或者甚至嵌入在衣服中的显示器。

OLED的功能性取决于所述有机材料的涂敷厚度。所述厚度必须在预定范围内。因此，在OLED生产中，重要的是使有机材料涂敷有效的涂敷速率在预定许可范围内。换句话说，在生产过程中有机蒸发器的涂敷速率必须彻底受控。

因此，用于OLED应用并且还用于其他蒸发过程的沉积速率一般需要相对较长时间内高度精确的速率。有多个测量系统用于在线测量蒸发器的沉积速率。然而，这些测量遇到期望时间段内精度不足和/或稳定性不足的困扰。

或者，在本领域中已知在沉积完成后分析已处理的基板上的沉积层以确定涂敷速率。在所述情况下，沉积系统的反馈控制必然会有一定的拖延。特别地，所述程序可能导致在控制可采取校正措施之前，一个或多个基板涂敷有范围以外的层。

鉴于上述情形，本发明的目的为提供克服本领域中的至少一些问题的一种蒸发系统、一种涂敷设施、以及一种用于对基板测量蒸发速率的方法。

发明内容

根据上述情形，提供了如独立权利要求1所述的蒸发系统、以及如独立权利要求12所述的方法。自从属权利要求、描述以及附图，本发明的进一步方面、优点以及特征将变得显而易见。

根据一个实施例，提供了一种蒸发器，所述蒸发器用于将材料（例如，有机材料）蒸发至基板上。所述蒸发器包括导向装置，所述导向装置用于引导材料朝向至少一个开式（opening）喷嘴，其中所述导向装置包括用于一部分所述材料的测量出口，所述测量出口的蒸发方向显著地不同于所述至少一个开式喷嘴的蒸发方向。所述蒸发器进一步包括第一测量系统及第二光学测量系统，所述第一测量系统配置用于产生与蒸发器沉积速率有关的第一信号并且具有第一检测器，所述第一检测器定位为由材料涂敷，所述第二光学测量系统用于产生与蒸发器沉积速率有关的第二信号，并且其中第二信号基于测量出口处的所述材料的所述部分。

根据一个实施例，提供了一种蒸发装置，所述蒸发装置用于将材料沉积到基板上。所述装置包括腔室和蒸发器，所述腔室用于将材料沉积到基板上，其中所述蒸发器设置在所述腔室内。所述蒸发器包括导向装置，所述导向装置用于引导材料朝向至少一个开式喷嘴，其中所述导向装置包括用于一部分所述材料的测量出口，所述测量出口的蒸发方向显著地不同于所述至少一个开式喷嘴的蒸发方向。所述蒸发器进一步包括第一测量系统及第二光学测量系统，所述第一测量系统配置用于产生与蒸发器沉积速率有关的第一信号并且具有第一检测器，所述第一检测器定位为由材料涂敷，所述第二光学测量系统用于产生与蒸发器沉积速率有关的第二信号，并且其中第二信号基于测量出口处的所述材料的所述部分。

根据另一实施例，提供一种操作蒸发装置用于材料（例如，有机材料）的方法。所述方法包括：经由开式喷嘴将第一部分引蒸发材料引导到基板上；经由测量出口将第二部分蒸发材料引导到第一检测器上；在所述测量出口和所述第一检测器之间移动测试基板部分，以使用第二部分蒸发材料沉积到测试基板部分；从所述测量出口和所述第一检测器之间移除所述测试基板部分，以经由所述测量出口再次将所述第二部分蒸发材料引导到所述第一检测器上；使用光学测量系统测量与沉积在所述测试基板部分上的蒸发材料层的层厚度相对应的信号；以及使用所述信号来校准第一检测器。

附图说明

针对本领域普通技术人员的全面和可实现公开（包括所述公开的最佳模式）在说明书的其余部分中更具体地阐述，说明书的其余部分包括对附图的参照，其中：