[实用新型]一种热驱动MEMS微镜

说明书

本实用新型涉及一种热驱动MEMS微镜。 

微型化，高性能，低成本，大批量是当今器件制造的追求目标。因此，微机电系统技术就应运而生，被广大制造商广泛应用，使用微机电系统技术制造的器件主要可分成两大类，其一就是单纯微型化传统器件，如微型光学平台，其优点集中体现在可以拓展微型化的系统的使用范围；其二使用革新原理制造出传统方法无法制作的器件，如地磁传感器。 

现有的热驱动MEMS微镜的驱动臂的热响应率低，且伴随着较高的热损耗，这样的缺点就使得MEMS微镜的驱动臂响应慢，并且驱动臂上产生的热功率很快会分别传导到微镜边框和镜面上，就带来了很大的热损耗，以至于不能有效地调节微镜的高度，且该热驱动MEMS微镜不适合高频应用。 

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能够有效增强驱动臂上的热响应率，且能有效降低驱动臂上的热损耗的热驱动MEMS微镜。 

本实用新型为了解决上述技术问题采用以下技术方案：本实用新型设计了一种热驱动MEMS微镜，包括镜面、驱动臂和微镜边框，还包括隔热连接件，所述驱动臂的两端分别通过隔热连接件与微镜边框、镜面相连接。 

作为本实用新型的一种优选技术方案：还包括导电走线，所述导电走线设置在所述驱动臂与微镜边框之间的隔热连接件上。 

作为本实用新型的一种优选技术方案：还包括设置在所述微镜边框上的金属导热块。 

作为本实用新型的一种优选技术方案：所述隔热连接件为 SiO₂材料。 

本实用新型所述一种热驱动MEMS微镜采用以上技术方案与现有技术相比，具有以下技术效果： 

本实用新型所述一种热驱动MEMS微镜采用以上技术方案与现有技术相比，具有以下技术效果： 

（1）本实用新型设计的热驱动MEMS微镜中，通过在驱动臂的两端设置隔热连接件，能够有效增强驱动臂上的热响应率，且能有效降低驱动臂上的热损耗，提高热驱动MEMS微镜的工作效率；

（2）本实用新型设计的热驱动MEMS微镜中，通过设置在驱动臂与微镜边框之间的隔热连接件上的导电走线，可以方便地连接与控制驱动臂；

（3）本实用新型设计的热驱动MEMS微镜中，在微镜边框上设置金属导热块，使得当该热驱动MEMS微镜降温时，也能有效快速的对其温度进行降温。

图1是本实用新型设计的热驱动MEMS微镜的结构示意图。 

其中，1. 镜面， 2. 驱动臂， 3. 微镜边框， 4. 隔热连接件， 5. 金属导热块， 6. 导电走线。 

下面结合说明书附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。 

如图1所示，本实用新型设计了一种热驱动MEMS微镜，包括镜面1、驱动臂2和微镜边框3，还包括隔热连接件4，所述驱动臂2的两端分别通过隔热连接件4与微镜边框3、镜面1相连接。 

本实用新型设计的热驱动MEMS微镜中，通过在驱动臂2的两端设置隔热连接件4，能够有效增强驱动臂2上的热响应率，且能有效降低驱动臂2上的热损耗，提高热驱动MEMS微镜的工作效率。 

作为本实用新型的一种优选技术方案：还包括导电走线6，所述导电走线6设置在所述驱动臂2与微镜边框3之间的隔热连接件4上。 

作为本实用新型的一种优选技术方案：还包括导电走线6，所述导电走线6设置在所述驱动臂2与微镜边框3之间的隔热连接件4上。 

本实用新型设计的热驱动MEMS微镜中，通过设置在驱动臂2与微镜边框3之间的隔热连接件4上的导电走线6，可以方便地连接与控制驱动臂2。 

作为本实用新型的一种优选技术方案：还包括设置在所述微镜边框3上的金属导热块5。 

本实用新型设计的热驱动MEMS微镜中，在微镜边框3上设置金属导热块5，使得当该热驱动MEMS微镜降温时，也能有效快速的对其温度进行降温。 

作为本实用新型的一种优选技术方案：所述隔热连接件4为SiO₂材料。 

现有的热驱动MEMS微镜中，驱动臂2热响应时，驱动臂2上产生的热功率很快会分别传导到微镜边框3和镜面1上，这样驱动臂2上的温度由中间向两边呈温度梯度，中间高，两端低，导致驱动臂2在靠近微镜边框3和镜面1的位置，很难产生位移，影响热驱动MEMS的工作效率。