[实用新型]一种热驱动MEMS微镜有效
| 申请号： | 201220712998.4 | 申请日： | 2012-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN203101727U | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 丁金玲;谢会开;陈巧 | 申请（专利权）人： | 无锡微奥科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 许方 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 驱动 mems 微镜 | ||
【权利要求书】：
一种热驱动MEMS微镜，包括镜面（1）、驱动臂（2）和微镜边框（3），其特征在于：还包括隔热连接件（4），所述驱动臂（2）的两端分别通过隔热连接件（4）与微镜边框（3）、镜面（1）相连接。
根据权利要求1所述一种热驱动MEMS微镜，其特征在于：还包括导电走线（6），所述导电走线（6）设置在所述驱动臂（2）与微镜边框（3）之间的隔热连接件（4）上。
根据权利要求1所述一种热驱动MEMS微镜，其特征在于：还包括设置在所述微镜边框（3）上的金属导热块（5）。
根据权利要求1所述一种热驱动MEMS微镜，其特征在于：所述隔热连接件（4）为 SiO2材料。
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