[实用新型]IGBT半导体器件有效
| 申请号: | 201220700511.0 | 申请日: | 2012-12-17 |
| 公开(公告)号: | CN203103307U | 公开(公告)日: | 2013-07-31 |
| 发明(设计)人: | 王锐 | 申请(专利权)人: | 深圳市可易亚半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L29/06 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市福田区金田路*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | igbt 半导体器件 | ||
本实用新型涉及一种IGBT半导体领域,具体的涉及一种IGBT半导体器件。
IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor),绝缘栅双极型晶体管,是由BJT(双极型三极管)和MOS(绝缘栅型场效应管)组成的复合全控型电压驱动式功率半导体器件,兼有MOSFET的高输入阻抗和GTR的低导通压降两方面的优点。GTR饱和压降低,载流密度大,但驱动电流较大;MOSFET驱动功率很小,开关速度快,但导通压降大,载流密度小。IGBT综合了以上两种器件的优点,驱动功率小而饱和压降低。非常适合应用于直流电压为600V及以上的变流系统如交流电机、变频器、开关电源、照明电路、牵引传动等领域。
因此亟需一种低正向压降、较大的正向或反向安全工作区的IGBT半导体器件。
本实用新型的目的是提供一种低正向压降、较大的正向或反向安全工作区的IGBT半导体器件。
为了实现上述目的,本实用新型提供的技术方案为:提供一种IGBT半导体器件,所述IGBT半导体器件的内部结构层包括:依次连接的P+注入区、N+缓冲区、N‑漂移区,在所述N‑漂移区上成型有P‑body区,在所述P‑body区上部的两端均间隔形成有N+深阱。
所述P‑body区位于所述N‑漂移区上部的中央处。
所述内部结构层的顶部中央处连接有金属层形成源极。
所述内部结构层的顶部两侧连接有二氧化硅层形成栅极。
所述内部结构层的底部连接有所述金属层形成漏极。
所述金属层的厚度为2~3微米之间。
所述N+深阱的深度为4~6微米之间。
所述N+深阱的深度为4~6微米之间。
与现有技术相比,本实用新型IGBT半导体器件中,由于依次连接的P+注入区、N+缓冲区、N‑漂移区,在所述N‑漂移区上成型有P‑body区,在所述P‑body区的上部两端均间隔形成有N+深阱,因此,能够有效的提高开启速度和降低关断速度,是一种低正向压降、较大的正向或反向安全工作区的IGBT半导体器件。
通过以下的描述并结合附图,本实用新型将变得更加清晰,这些附图用于解释本实用新型的实施例。
图1为本实用新型IGBT半导体器件的一个实施例的结构示意图。
现在参考附图描述本实用新型的实施例,附图中类似的元件标号代表类似的元件。如上所述,如图1所示的实施例中,提供的技术方案是:提供一种IGBT半导体器件100,所述IGBT半导体器件100的内部结构层包括:依次连接的P+注入区10、N+缓冲区20、N‑漂移区30,在所述N‑漂移区30上成型有P‑body区40,在所述P‑body区40上部的两端均间隔形成有N+深阱50。
所述P‑body区40位于所述N‑漂移区30上部的中央处。
所述内部结构层的顶部中央处连接有金属层60形成源极。
所述内部结构层的顶部两侧连接有二氧化硅层70形成栅极。
所述内部结构层的底部连接有所述金属层60形成漏极。
所述金属层60的厚度为2~3微米之间。
所述N+深阱50的深度为4~6微米之间。
结合图1,本实用新型IGBT半导体器件100,由于依次连接的P+注入区10、N+缓冲区20、N‑漂移区30,在所述N‑漂移区30上成型有P‑body区40,在所述P‑body区40上部的两端均间隔形成有N+深阱50。因此,能够有效的提高开启速度和降低关断速度,是一种低正向压降、较大的正向或反向安全工作区的IGBT半导体器件。
以上所揭露的仅为本实用新型的优选实施例而已,当然不能以此来限定本实用新型之权利范围,因此依本实用新型申请专利范围所作的等同变化,仍属本实用新型所涵盖的范围。
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