[实用新型]一种引线键合机基座

说明书

技术领域

本实用新型属于集成电路制造技术领域，特别是涉及全自动引线键合机基座的设计。

背景技术

在电子和半导体器件制造设备全自动引线键合机的自动生产过程中， 速度、精度和可靠性是引线键合机的重要技术指标。这其中高稳定性，高抗震动性的基座是实现引线键合机高速度，高精度，高可靠性运行目标的重要基础部件。

传统的键合机XY工作台的X向直线电机安装在绑定头的左侧，绑头下面还需要基座来支撑X 向直线电机基座，这样将导致整个XY工作台占空间面积大，并且需要基座和X向直线电机动子的精密配合加上高精度的机械设计和装配才能保证XY 工作台装配精度的技术问题。另外，传统键合机基座采用由方钢焊接后的支架承载大基板结构，抗震动性不强，该缺陷是导致全自动引线键合机整机速度无法再往上提升的瓶颈。本实用新型的目的在于克服上述缺欠，提出了一种抗震性更强的引线键合机基座。

发明内容

本实用新型采用的技术方案是：一种引线键合机基座，由矿物质铸件基座、矿物质支腿和基础钢板三部分组成，矿物质铸件基座为人造理石铸造而成的三层阶梯的台阶形状基座，其中第一层台阶开有竖向走线孔用于导线安装，第二层台阶表面开有若干个用于安装X向直线电机定子和X向交叉滚子的安装孔，并开有X向直线电机安装凹槽，在X向直线电机安装凹槽的侧面开有走线凹槽；第三层台阶表面也开有用于Y向直线电机定子的安装孔；在第二层台阶垂直面上开有水平向的导线孔为X向直线电机动子的导线提供通道；矿物质铸件基座的四角留有矿物质支腿的安装孔，四根大螺栓通过矿物质铸件基座四角的支腿安装孔将矿物质铸件基座、矿物质支腿和基础钢板固定连接在一起，在矿物质支腿上开有若干个走线孔。

本实用新型的有益效果是：由于物体的共振频率与物体材料的弹性模量成正比，而与材料的密度成反比，因此采用高比刚度材料做成的基座来安装XY基板和键合头等核心部件，能够使整个引线键合设备具有较高的共振频率，也就能够提高整个键合设备的抗振动能力。有了高的抗振动能力，也就使XY基板和键合头能够在高的加速度和高的速度下运行，提高了键合生产效率。另一个优点是省略掉传统结构左侧安装X向直线电机的一大片空间，使得整个机台的重心向中间偏移，利于整个机台的稳定，从而大大增加了机器焊接的稳定性。

附图说明

    图1，图2是本实用新型的结构示意图

图中 3. 矿物质铸件基座，4. 矿物质支腿，5. 基础钢板， 41-44. X向直线电机定子安装孔，51-56. Y向直线电机定子安装孔， 70-79．X向交叉滚子安装孔， 8．X向直线电机安装凹槽， 10． X直线电机动子走线凹槽， 31-34．支腿安装孔。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

将人造理石铸造成为三层阶梯的台阶形状基座，其中在第一层台阶开有竖向走线孔用于导线安装，第二层台阶表面上开出若干个X向直线电机定子安装孔（41-44）用于安装X向直线电机定子， 开有X向交叉滚子安装孔(70-79)用于安装X向交叉滚子；在第二层台阶表面上开有X向直线电机安装凹槽(8)，在X向直线电机安装凹槽(8)的侧面开有走线凹槽（10）；第三层台阶表面上开出用于安装Y向直线电机定子的安装孔 (51-56)；第二层台阶垂直面上开有水平向的导线孔，为X向直线电机动子的导线提供通道；矿物质铸件基座(3)的四角留有矿物质支腿(4)的支腿安装孔(31-34)，用四根大螺栓通过支腿安装孔(31-34)将矿物质铸件基座(3)、矿物质支腿(4)和基础钢板(5)固定连接在一起，在矿物质支腿（4）上开有若干个走线孔。