[实用新型]一种平板玻璃用机器人手掌

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种玻璃移载用机器人手掌，特别涉及一种平板玻璃用机器人手掌，属于设备领域。

背景技术

在现代半导体制造过程中，大面积玻璃基板常被用来作为基底，在传输和制造过程中玻璃往往具有不同形式的放置要求，如传输时往往采用平置，某些制作工艺又要求将玻璃竖置在夹具上，由于半导体行业制作的特殊性，这类工作靠人工完成会产生很多制作缺陷，所以一般采用机械移载机构或机器人来完成，目前大部分依赖机器人来完成，机器人“手掌”准确抓取是关键，因为平板玻璃不易抓起且易变形。一般机器人手掌抓取玻璃都使用真空吸盘来完成，但因为玻璃变形量的要求和限制，吸盘数量往往需要较多，玻璃不容易贴近每一个吸盘从而造成真空失误，造成吸取玻璃失败，而且在移载的过程中真空吸附力小于玻璃重力的话还会引起玻璃脱落，某些制程采用的玻璃为特殊或者导电玻璃，成本较高，这些都会给生产过程造成成本和效率问题。

发明内容

本实用新型为提供一种平板玻璃用机器人手掌。

本实用新型所提供的一种平板玻璃用机器人手掌包括手掌基板，在手掌基板上设置吸盘，手掌基板内设置有真空管路与吸盘相联通，通过管路把真空发生器产生的真空传递到吸盘内，所述的吸盘数量至少为两个，所述的吸盘数量为十二个，在手掌基板根部设置有夹紧气缸，通过连杆机构压紧玻璃，在手掌基板根部设置有两个夹紧气缸，分别为一号夹紧气缸和二号夹紧气缸，一号连杆机构和二号连杆机构分别与一号夹紧气缸二号夹紧气缸连接，通过气缸运动完成对玻璃夹紧和松开，所述的手掌基板采用碳纤维材料制作。

本实用新型所提供的一种平板玻璃用机器人手掌包括手掌基板，手掌基板采用碳纤维材料制作，能够有效保证手掌基板表面平面度，吸盘数量采用十二个就能完成1.1*1.4平方米的玻璃的移载和吸取，在移载过程中采用夹紧气缸推动连杆机构压紧玻璃，更能有效的提高移载过程中的成品率，本实用新型结构简单，易于控制和实现，能够准确抓起、放置玻璃并避免出现真空失误现象，可以应用于精密要求的平板玻璃移载场合。

附图说明

图1是本实用新型的示意图。

具体实施方式

 为了更充分的解释本实用新型的实施，提供本实用新型的实施实例。这些实施实例仅仅是对该装置的阐述，不限制本实用新型的范围。

如附图所示，一种平板玻璃用机器人手掌，设置手掌基板1，在手掌基板1上设置吸盘，手掌基板1内设置有真空管路与吸盘相联通，通过管路把真空发生器产生的真空传递到吸盘内，所述的吸盘数量至少为两个，所述的吸盘数量为十二个，在手掌基板1根部设置有夹紧气缸，通过连杆机构压紧玻璃，在手掌基板1根部设置有两个夹紧气缸，分别为一号夹紧气缸2和二号夹紧气缸3，一号连杆机构4和二号连杆机构5分别于一号夹紧气缸2和二号夹紧气缸3连接，通过气缸运动完成对玻璃夹紧和松开，所述的手掌基板1采用碳纤维材料制作，图1中6所示为一个吸盘，7为设置在其中的真空管路口，本实用新型中手掌基板采用手形，可有效的降低手掌基板1的自重。

本实用新型的工作过程为：需要移载玻璃时，机器人手掌真空吸盘贴紧玻璃，吸盘内产生真空，一号夹紧气缸2和二号夹紧气缸3分别驱动一号连杆机构4和二号连杆机构5辅助压紧玻璃，移动玻璃至设定位置，一号夹紧气缸2和二号夹紧气缸3分别驱动一号连杆机构4和二号连杆机构5松开玻璃，破坏吸盘内的真空，移动机器人手掌。

在详细说明本实用新型的实施方式之后，熟悉该项技术的人士可清楚地了解，在不脱离上述申请专利范围与精神下可进行各种变化与修改，凡依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均属于本实用新型技术方案的范围，且本实用新型亦不受限于说明书中所举实例的实施方式。