[实用新型]一种用于区熔单晶炉高频电源的闭式冷却水循环系统

权利要求书

1.一种用于区熔单晶炉高频电源的闭式冷却水循环系统，包括水箱，其特征在于，所述闭式冷却水循环系统还包括机架、换热器、循环水泵；所述水箱安装于机架上，水箱上有设有一个进水口和一个出水口，进水口与循环冷却水回水管连接，出水口与循环水泵连接；所述换热器上设有一个被冷却介质出口、一个被冷却介质进口、一个冷却介质出口和一个冷却介质进口，被冷却介质出口与循环冷却水进水管连接，被冷却介质进口与循环水泵连接，冷却介质出口与外部冷却水回水管连接，冷却介质进口与外部冷却水进水管连接；所述换热器为板式换热器。

2.根据权利要求1所述的闭式冷却水循环系统，其特征在于，所述出水口与循环水泵之间装有球阀。

3.根据权利要求1所述的闭式冷却水循环系统，其特征在于，所述出水口与循环水泵之间装有过滤器。

4.根据权利要求1所述的闭式冷却水循环系统，其特征在于，所述冷却介质出口与外部冷却水回水管之间还连接有控制阀。

5.根据权利要求1至5任意一项所述的闭式冷却水循环系统，其特征在于，所述外部冷却水回水管、外部冷却水进水管、循环冷却水进水管、循环冷却水回水管的端部各装有一个球阀。