[实用新型]一种基底传输机器手有效

专利信息
申请号: 201220540021.9 申请日: 2013-01-30
公开(公告)号: CN202948907U 公开(公告)日: 2013-05-22
发明(设计)人: 方舟 申请(专利权)人: 上海微电子装备有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/683
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 基底 传输 机器
【权利要求书】:

1.一种基底传输机器手,其特征在于,包括:升降结构、旋转结构、伸缩结构和末端执行器,所述升降结构与所述旋转结构连接并驱动所述旋转结构上下运动,所述旋转结构与所述伸缩结构连接,所述伸缩结构与所述末端执行器连接,所述旋转结构带动所述伸缩结构与末端执行器随所述旋转结构转动。

2.根据权利要求1所述的基底传输机器手,其特征在于,所述伸缩结构包括:连杆和两组传动臂结构;所述连杆连接所述两组传动臂结构。

3.根据权利要求2所述的基底传输机器手,其特征在于,每组所述传动臂结构包括:大臂体和小臂体;所述大臂体和小臂体铰接连接。

4.根据权利要求3所述的基底传输机器手,其特征在于,所述大臂体包括:大臂体中心同步带轮和大臂体行星同步带轮;所述小臂体包括:小臂体中心同步带轮和小臂体行星同步带轮。

5.根据权利要求4所述的基底传输机器手,其特征在于,所述大臂体行星同步带轮和所述小臂体中心同步带轮铰接连接。

6.根据权利要求4所述的基底传输机器手,其特征在于,所述小臂体行星同步带轮与所述末端执行器连接。

7.根据权利要求4所述的基底传输机器手,其特征在于,所述大臂体中心同步带轮与所述大臂体行星同步带轮之间的传动比为2:1。

8.根据权利要求4所述的基底传输机器手,其特征在于,所述小臂体中心同步带轮与所述小臂体行星同步带轮之间的传动比为1:2。

9.根据权利要求5所述的基底传输机器手,其特征在于,两组所述大臂体行星同步带轮和所述小臂体中心同步带轮铰接处连接所述连杆;所述连杆与两组所述大臂体形成第一双摇杆机构;末端执行器与两组所述小臂体形成第二双摇杆机构。

10.根据权利要求3-9中任意一项权利要求所述的基底传输机器手,其特征在于,所述大臂体与小臂体均采用封闭型空心结构。

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