[实用新型]一种基底传输机器手有效
申请号: | 201220540021.9 | 申请日: | 2013-01-30 |
公开(公告)号: | CN202948907U | 公开(公告)日: | 2013-05-22 |
发明(设计)人: | 方舟 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基底 传输 机器 | ||
1.一种基底传输机器手,其特征在于,包括:升降结构、旋转结构、伸缩结构和末端执行器,所述升降结构与所述旋转结构连接并驱动所述旋转结构上下运动,所述旋转结构与所述伸缩结构连接,所述伸缩结构与所述末端执行器连接,所述旋转结构带动所述伸缩结构与末端执行器随所述旋转结构转动。
2.根据权利要求1所述的基底传输机器手,其特征在于,所述伸缩结构包括:连杆和两组传动臂结构;所述连杆连接所述两组传动臂结构。
3.根据权利要求2所述的基底传输机器手,其特征在于,每组所述传动臂结构包括:大臂体和小臂体;所述大臂体和小臂体铰接连接。
4.根据权利要求3所述的基底传输机器手,其特征在于,所述大臂体包括:大臂体中心同步带轮和大臂体行星同步带轮;所述小臂体包括:小臂体中心同步带轮和小臂体行星同步带轮。
5.根据权利要求4所述的基底传输机器手,其特征在于,所述大臂体行星同步带轮和所述小臂体中心同步带轮铰接连接。
6.根据权利要求4所述的基底传输机器手,其特征在于,所述小臂体行星同步带轮与所述末端执行器连接。
7.根据权利要求4所述的基底传输机器手,其特征在于,所述大臂体中心同步带轮与所述大臂体行星同步带轮之间的传动比为2:1。
8.根据权利要求4所述的基底传输机器手,其特征在于,所述小臂体中心同步带轮与所述小臂体行星同步带轮之间的传动比为1:2。
9.根据权利要求5所述的基底传输机器手,其特征在于,两组所述大臂体行星同步带轮和所述小臂体中心同步带轮铰接处连接所述连杆;所述连杆与两组所述大臂体形成第一双摇杆机构;末端执行器与两组所述小臂体形成第二双摇杆机构。
10.根据权利要求3-9中任意一项权利要求所述的基底传输机器手,其特征在于,所述大臂体与小臂体均采用封闭型空心结构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造