[实用新型]一种防止气体反冲的装置以及金属有机化学气相沉积设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种金属有机化学气相沉积（MOCVD）设备，具体地，涉及一种可应用于该MOCVD设备的防止气体反冲的装置。 

背景技术

在目前的气相沉积设备，如金属有机化学气相沉积（Metal-organic Chemical Vapor Deposition，MOCVD）设备中，由于反应过程不充分导致MOCVD设备的尾气端会产生大量的颗粒等反应副产物，对于MOCVD设备而言，反应腔中腔体的清洁程度对于外延材料的质量非常重要。要防止尾气端的颗粒等反应副产物不至于在腔体压力切换时或者是尾气端压力高于腔体内反应区域压力的情况下倒灌进入反应区域，目前采用的一种办法是采用软件互锁来控制尾气管道的闭合，当尾气端压力高于反应腔的腔体内反应区域压力时，压力传感器把信号传给控制软件，控制软件经过判断后相应地控制阀门把尾气管道关闭，禁止气体流通进而防止倒灌。此方法能防止气体的反流，但是本申请发明人发现，事实上即使在反应区域压力高于尾气端压力的情况下，如果压力出现了快速的切换甚至是管道关闭的瞬间都会出现气流的紊乱，从而导致颗粒等反应副产物在反冲气流的作用下从尾气管道回冲到MOCVD设备的反应腔里面。 

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于防止尾气端产生的颗粒等反应副产物反冲到反应区域的装置，保证反应区域的清洁度。 

为了达到上述目的，本实用新型一个实施例提供了一种防止气体反冲的装置，该装置包含进气部分、和进气部分相连的主体部分、以及和主体部分相连的排气部分;所述的进气部分内设有进气通道，主体部分内设有主体通道，排气部分内设有排气通道；所述的主体通道分别与进气通道、排气通道相连通，以使气体进入进气通道后经过主体通道再由排气通道排出；所述的主体通道内设有一组第一挡板和一组第二挡板，所述的第一挡板和第二挡板相对设置。 

上述的防止气体反冲的装置，其中，所述的一组第一挡板包含若干个平行或大致平行的第一挡板，所述的一组第二挡板包括若干个平行或大致平行的第二挡板。 

上述的防止气体反冲的装置，其中，所述的第一挡板和第二挡板交错排列。 

上述的防止气体反冲的装置，其中，所述的主体通道优选为柱状通道。 

上述的防止气体反冲的装置，其中，所述的第一挡板向主体通道中心延伸的方向和气体在主体通道内的流通主方向之间形成第一夹角，该第一夹角为锐角或直角；所述的第二挡板向主体通道中心延伸的方向和气体在主体通道内的流通主方向之间形成第二夹角，该第二夹角为锐角或直角。 

上述的防止气体反冲的装置，其中，所述的第一挡板为活动挡板，在反冲气流的作用下，第一夹角能够增大；和/或：所述的第二挡板为活动挡板，在反冲气流的作用下，第二夹角能够增大。 

上述的防止气体反冲的装置，其中，所述的第一挡板和第二挡板分别安装在所述主体通道的内壁上。 

上述的防止气体反冲的装置，其中，所述的第一挡板和第二挡板以能够拆卸的结构分别安装在所述主体通道的内壁上。 

上述的防止气体反冲的装置，其中，所述的排气部分与所述的主体部分的一端的侧面相连，所述的主体部分邻近排气部分的一端还设有与主体通道连通的开口，以及能够封闭和打开该开口的底板。 

上述的防止气体反冲的装置，其中，所述的第一挡板或第二档板的面积不小于主体通道横截面面积的一半。 

本实用新型另一个实施例还提供了一种金属有机化学气相沉积设备，包含反应腔，抽气泵和上述的防止气体反冲的装置，其中该装置所述的进气部分与所述的反应腔相连通，所述的排气部分与所述抽气泵相连通；在抽气泵作用下，反应气体从反应腔流出后经过该装置再由抽气泵排出。 

本实用新型提供的防止气体反冲的装置以及包括该装置的金属有机化学气相沉积设备具有以下优点： 

该装置内部设有挡板，即使有气流出现回流或反冲现象，被气流带起的悬浮颗粒物也会在挡板的下部滞留而不容易直接冲到反应区域，保证了反应区域的清洁度，可以有效地延长MOCVD设备的维护周期，进而降低维护成本。

附图说明

图1为本实用新型一个实施例中防止气体反冲的装置的平面剖视示意图。 

图2为本实用新型一个实施例中防止气体反冲的装置的立体剖视示意图。 

图3为本实用新型另一个实施例中防止气体反冲的装置的立体剖示示意图。 

图4为本实用新型一个实施例中设有底板的防止气体反冲的装置的的结构示意图。