[实用新型]一种防止气体反冲的装置以及金属有机化学气相沉积设备

权利要求书

1. 一种防止气体反冲的装置，其特征在于，该装置包含进气部分（1）、和进气部分（1）相连的主体部分（2）、以及和主体部分（2）相连的排气部分（3）；

所述的进气部分（1）内设有进气通道（11），主体部分（2）内设有主体通道（21），排气部分（3）内设有排气通道（31）；

所述的主体通道（21）分别与进气通道（11）、排气通道（31）相连通，以使气体进入进气通道（11）后经过主体通道（21）再由排气通道（31）排出；

所述的主体通道（21）内设有一组第一挡板（4）和一组第二挡板（5），所述的第一挡板（4）和第二挡板（5）相对设置。

2. 如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述的一组第一挡板（4）包含若干个平行或大致平行的第一挡板（4），所述的一组第二挡板（5）包括若干个平行或大致平行的第二挡板（5）。

3. 如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述的第一挡板（4）和第二挡板（5）交错排列。

4. 如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述的主体通道（21）为柱状通道。

5. 如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述的第一挡板（4）向主体通道（21）中心延伸的方向和气体在主体通道（21）内的流通主方向之间形成第一夹角（α），第一夹角（α）为锐角或直角；所述的第二挡板（5）向主体通道（21）中心延伸的方向和气体在主体通道（21）内的流通主方向之间形成第二夹角（β），第二夹角（β）为锐角或直角。

6. 如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述的第一挡板（4）为活动挡板，在反冲气流的作用下，第一夹角（α）能够增大；

和/或：所述的第二挡板（5）为活动挡板，在反冲气流的作用下，第二夹角（β）能够增大。

7. 如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述的第一挡板（4）和第二挡板（5）分别安装在所述主体通道（21）的内壁上。

8. 如权利要求7所述的装置，其特征在于，所述的第一挡板（4）和第二挡板（5）以能够拆卸的结构分别安装在所述主体通道（21）的内壁上。

9. 如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述的排气部分（3）与所述的主体部分（2）的一端的侧面相连，所述的主体部分（2）邻近排气部分（3）的一端还设有与主体通道（21）连通的开口（6），以及能够封闭和打开该开口（6）的底板（7）。

10. 如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述的第一挡板（4）和/或第二档板（5）的面积不小于主体通道（21）横截面面积的一半。

11. 一种金属有机化学气相沉积设备，包含反应腔（8），抽气泵（9）和如权利要求1-10中任意一项所述的防止气体反冲的装置，其中该装置中的进气部分（1）与所述的反应腔（8）相连通，该装置中的排气部分（3）与所述抽气泵（9）相连通；在抽气泵（9）作用下，反应后的气体从反应腔（8）流出后经过该装置再由抽气泵（9）排出。