[实用新型]石英鼠笼舟有效
| 申请号： | 201220302904.6 | 申请日： | 2012-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN202678297U | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 张忠恕;杨继盛;陈强;边占宁;韦冬寒;于洋;张娟;孙超群;孙云涛;康海霞;王志刚;赵小亮;秦殿强;卢爱国 | 申请（专利权）人： | 北京凯德石英有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京兆君联合知识产权代理事务所(普通合伙) 11333 | 代理人： | 胡敬红 |
| 地址： | 101109 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石英 鼠笼舟 | ||
【权利要求书】：
1.石英鼠笼舟，包括底盖和顶盖，其特征在于：所述底盖和顶盖均由两个半圆板可拆式拼接而成，所述底盖和顶盖之间垂直间隔固定有若干条形板，形成拼接式左、右半笼舟；所述左或右半笼舟的三片条形板向笼内侧径向上分别垂直固定有一槽片，槽片在长度方向上阵列有若干个小槽，三个槽片上有位于同一个平面小槽。
2.根据权利要求1所述的石英鼠笼舟，其特征在于：所述槽片与条形板等长，槽片的两端与底、顶盖固定。
3.根据权利要求1所述的石英鼠笼舟，其特征在于：所述槽片厚度为3mm。
4.根据权利要求1所述的石英鼠笼舟，其特征在于：所述两个半圆板通过扣合形式拼接在一起。
5.根据权利要求1所述的石英鼠笼舟，其特征在于：所述条形板有12片。
6.根据权利要求5所述的石英鼠笼舟，其特征在于：所述左、右半笼舟的拼接处均由两半条形板拼接而成。
7.根据权利要求6所述的石英鼠笼舟，其特征在于：所述槽片之间的夹角为60°，且邻近拼接处的槽片与拼接边的夹角为30°。
8.根据权利要求1所述的石英鼠笼舟，其特征在于：所述左、右半笼舟的邻近拼接处的条形板的外壁上对称固定有侧管。
9.根据权利要求1所述的石英鼠笼舟，其特征在于：所述底、顶盖上有定位销。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
