[实用新型]一种扩散用石英舟有效

专利信息
申请号: 201220261577.4 申请日: 2012-06-05
公开(公告)号: CN202712236U 公开(公告)日: 2013-01-30
发明(设计)人: 姜言森;任现坤;张黎明;王光利;张春艳;贾河顺;程亮;徐振华;王兆光;杜敏;刘鹏;李玉花;张丽丽;李钢;姚增辉;张同星;马继磊;孙继峰 申请(专利权)人: 山东力诺太阳能电力股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/673;C30B31/14
代理公司: 济南舜源专利事务所有限公司 37205 代理人: 宋玉霞
地址: 250103 山东省济南*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 扩散 石英
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种太阳能电池制作工段夹具技术领域,具体涉及一种扩散用石英舟。 

背景技术

晶体硅太阳能电池制作工艺包括制绒、扩散、刻蚀、沉积减反射膜、印刷电极等步骤,扩散步骤一般采用石英舟作为承载工具,如专利:200920068241.4。

说明书附图3,为现有技术中常见的石英舟的局部放大图。可以看到现有技术在太阳能电池制作PN结的过程中,一般采用凹槽以相同的间隔均匀分布于支架上的石英舟,在扩散插片时采用两片硅片扩散面相背紧贴在一起插入凹槽进行单面扩散的方法。这样,一方面由于非扩散面得不到足够的磷源,从而减弱了磷扩散的高温吸杂作用;另一方面电池的方块电阻可控性、均匀性差,从而降低了太阳能电池的转化效率。同时由于背靠背插片会在一定程度上增加了硅片的碎片几率,降低了产品的合格率。

而使用现有技术的石英舟进行双面扩散,将一片硅片单独插入凹槽,这样,不仅使电池产能降低到原有产能的1/2,同时还提高了生产成本,直接减少企业利益。 

发明内容

本发明的目的就是针对上述存在的缺陷而提供一种扩散用石英舟。该石英舟的凹槽按宽、窄间隔交替分布,这样可以提高太阳能电池的转化效率及合格率,并且可以有效的降低硅片在装卸舟过程中出现的碎片率高、用时长、扩散面放反等问题,显著提高工作效率。

本发明的一种扩散用石英舟技术方案为,包括侧面连接件和支架;支架包括一对上支架和一对下支架;上支架对称固定于侧面连接件上端内侧壁,下支架对称固定于侧面连接件底部内侧壁,且上支架所在平面与下支架所在平面相互平行,上支架之间的距离比下支架之间的距离宽;所述的上支架内侧表面、下支架上侧表面设置有间隔大小不同的凹槽。所述侧面连接件外侧上部设有把手。

上支架和下支架的横截面为矩形,其中两个上支架相对的内侧有凸起。

所述的上支架内侧凸起的表面、下支架上侧表面设置有按宽间隔、窄间隔交替分布的凹槽。

凹槽的宽度为0.5~2mm,凹槽的宽度优选为1.0±0.1mm。

宽间隔的宽度为0.5~5mm,宽间隔的宽度优选为2.2±0.1mm。

窄间隔的宽度为0.5~4mm,窄间隔的宽度优选为1±0.1mm。

本发明的有益效果为:本发明的一种扩散用石英舟,包括侧面连接件和支架;其中,支架包括一对上支架和一对下支架;上支架对称固定于侧面连接件上端内侧壁,下支架对称固定于侧面连接件底部内侧壁,且上支架所在平面与下支架所在平面相互平行,上支架之间的距离比下支架之间的距离宽;所述的上支架内侧表面、下支架上侧表面设置有间隔大小不同的凹槽。

本发明的凹槽按宽、窄间隔交替分布,采用单片硅片插入凹槽进行双面扩散的方法,可以提高磷扩散的高温吸杂作用,提高太阳能电池的转化效率,同时,彻底杜绝了由于扩散面放反导致的电性能不良等问题;另外,可以有效的降低硅片在装、卸舟过程中出现的崩边、掉角、隐裂等碎片问题,减少了装卸舟时间,显著提高工作效率;提高了产品质量及合格率。

附图说明:

图1所示为本发明正面剖视图;

图2所示为图1中A部分的局部放大图;

图3所示为现有技术的凹槽放大图;

图4所示为本发明的左右视图;

图5所示为本发明的侧面剖视图;

图6所示为本发明的上支架横截面视图;

图7所示为本发明的下支架横截面视图;

图中, 1.上支架,2.把手,3. 侧面连接件,4.下支架,5.凹槽,6.凸起。

具体实施方式:

为了更好地理解本发明,下面结合具体实例来详细说明本发明的技术方案,但是本发明并不局限于此。

本发明的一种扩散用石英舟技术方案为,包括侧面连接件3和支架;支架包括一对上支架1和一对下支架4;上支架1对称固定于侧面连接件3上端内侧壁,下支架4对称固定于侧面连接件3底部内侧壁,且上支架1所在平面与下支架4所在平面相互平行,上支架1之间的距离比下支架4之间的距离宽;所述的上支架1内侧表面、下支4架上侧表面设置有间隔大小不同的凹槽5。所述侧面连接件3外侧上部设有把手2。

上支架1和下支架4的横截面为矩形,其中两个上支架1相对的内侧有凸起6。

所述的上支架1内侧凸起6的表面、下支架4上侧表面设置有按宽间隔、窄间隔交替分布的凹槽5。

凹槽5的宽度为0.5~2mm,凹槽5的宽度优选为1.0±0.1mm。

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