[实用新型]一种扩散用石英舟有效

专利信息
申请号: 201220261577.4 申请日: 2012-06-05
公开(公告)号: CN202712236U 公开(公告)日: 2013-01-30
发明(设计)人: 姜言森;任现坤;张黎明;王光利;张春艳;贾河顺;程亮;徐振华;王兆光;杜敏;刘鹏;李玉花;张丽丽;李钢;姚增辉;张同星;马继磊;孙继峰 申请(专利权)人: 山东力诺太阳能电力股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/673;C30B31/14
代理公司: 济南舜源专利事务所有限公司 37205 代理人: 宋玉霞
地址: 250103 山东省济南*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 扩散 石英
【权利要求书】:

1.一种扩散用石英舟,包括侧面连接件和支架,其特征在于,支架包括一对上支架和一对下支架;上支架对称固定于侧面连接件上端内侧壁,下支架对称固定于侧面连接件底部内侧壁,且上支架所在平面与下支架所在平面相互平行,上支架之间的距离比下支架之间的距离宽;所述的上支架内侧表面、下支架上侧表面设置有间隔大小不同的凹槽。

2. 根据权利要求1所述的一种扩散用石英舟,其特征在于,上支架和下支架的横截面为矩形,其中两个上支架相对的内侧有凸起。

3. 根据权利要求2所述的一种扩散用石英舟,其特征在于,所述的上支架内侧凸起的表面、下支架上侧表面设置有按宽间隔、窄间隔交替分布的凹槽。

4. 根据权利要求3所述的一种扩散用石英舟,其特征在于,凹槽的宽度为0.5~2mm。

5. 根据权利要求3所述的一种扩散用石英舟,其特征在于,凹槽的宽度为1.0±0.1mm。

6. 根据权利要求3所述的一种扩散用石英舟,其特征在于,宽间隔的宽度为0.5~5mm。

7. 根据权利要求3所述的一种扩散用石英舟,其特征在于,宽间隔的宽度为2.2±0.1mm。

8. 根据权利要求3所述的一种扩散用石英舟,其特征在于,窄间隔的宽度为0.5~4mm。

9. 根据权利要求3所述的一种扩散用石英舟,其特征在于,窄间隔的宽度为1±0.1mm。

10. 根据权利要求1所述的一种扩散用石英舟,其特征在于,所述侧面连接件外侧上部设有把手。

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