[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201220239648.0 | 申请日： | 2012-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN202679624U | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 宋青林;潘昕 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
1.一种MEMS麦克风，包括由线路板和外壳组成的封装结构，其特征在于：所述线路板由第一线路板和第二线路板组成，所述第一线路板朝向所述封装结构外侧，所述第二线路板朝向所述封装结构内侧并与所述外壳结合在一起，位于所述封装结构内部的所述第二线路板表面上设有MEMS声电换能器芯片, 所述第二线路板与所述MEMS声电换能器芯片连接处形成封闭的环形密封，所述MEMS声电换能器芯片由两个以上的电容器单元组成，所述第一线路板上设有第一声孔，所述第二线路板上设有第二声孔，所述第二声孔孔径大于所述第一声孔并与所述MEMS声电换能器芯片的电容器单元连通，所述第一声孔连通所述第二声孔以及所述封装结构外部空间。
2.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述MEMS声电换能器芯片中的各个电容器单元之间并联设置。
3.如权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述MEMS声电换能器芯片中的各个电容器单元之间串联设置。
4.一种MEMS麦克风，包括由线路板和外壳组成的封装结构，其特征在于：位于所述封装结构内部的线路板表面上设有封闭环形的支撑圈，所述支撑圈上设置有MEMS声电换能器芯片，所述支撑圈与所述MEMS声电换能器芯片连接处形成封闭的环形密封，所述MEMS声电换能器芯片由两个以上的电容器单元组成，所述线路板上设有第一声孔，所述支撑圈内部形成第二声孔，所述第二声孔孔径大于所述第一声孔并与所述MEMS声电换能器芯片的电容器单元连通，所述第一声孔连通所述第二声孔以及所述封装结构外部空间。
5.如权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述MEMS声电换能器芯片中的各个电容器单元之间并联设置。
6.如权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述MEMS声电换能器芯片中的各个电容器单元之间串联设置。
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