[实用新型]PECVD的石英管用锁紧装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及光伏电池制造过程中PECVD的设备技术领域，更具体地说，涉及一种PECVD的石英管用锁紧装置。

背景技术

光伏电池生产过程中，需要在光伏电池的半成品电池即硅片的表面镀上一层减反射膜。目前，采用等离子体增强化学气相沉积方法(PECVD，Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)，使气体在硅电池片表面发生化学反应并形成覆盖层，即减反射膜。该方法借助微波或射频等使含有薄膜组成的原子的气体电离，在局部形成等离子体，由于等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在硅电池片上沉积出所期望的薄膜。

链式PECVD工艺腔室中，将硅电池片放置在特气槽内，氢化硅和氨气在等离子状态下，在硅电池片的表面形成氮化硅膜，增强了硅电池片对太阳光线的吸收，减少了反射。从而，在一定程度上提高了硅电池片将光能转换为电能的转换效率。

但是，在工艺反应一段时间(即沉积反应经过一段时间)之后，特气槽和石英管表面会沉积一层厚度范围为1-2mm的氮化硅层，而这个氮化硅层会改变耦合条件和沉积性能，降低沉积率，导致必须更换新的石英管。

目前，现有技术中将锁套和密封组件紧密接触，锁套插入微波法兰，通过旋转锁套挤压密封组件，密封组件挤压石英管达到密封固定石英管的效果。当石英管使用一段时间后，石英管和锁套会被氮化硅覆盖，导致无法将锁套从微波法兰中取出，即无法将石英管完整取下。通常是先将石英管打碎，然后旋转锁套并将其取下，更换新的石英管，最后用专用工具旋转锁套将石英管锁紧。

但是，将石英管打碎再进行拆卸，使得无疑增加了工作量，使得工作人员的劳动强度较高；对于可再利用的石英管造成了浪费，增加了光伏电池的生产成本。

综上所述，如何在更换石英管时避免打碎石英管，以降低工作人员的劳动强度，同时降低光伏电池的生产成本，成为本领域技术人员亟待解决的重要技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种PECVD的石英管用锁紧装置，降低了工作人员的劳动强度；同时，提高了石英管的再利用率，降低了光伏电池的生产成本。

为了达到上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种PECVD的石英管用锁紧装置，包括设有卡槽的法兰和套设于所述石英管上的密封组件，所述卡槽包括相连通的轴向段和周向段，该石英管用锁紧装置还包括：

套设于所述石英管上的第一锁件，所述第一锁件包括连接段和可套设于所述法兰上的锁紧段，所述锁紧段内部设置有可沿所述卡槽移动的锁柱；

可卡设于所述第一锁件内部，能够被限制沿远离所述法兰的方向移动的第二锁件，所述第二锁件包括套设于所述密封组件上的密封段和套设于所述石英管上，且与所述密封组件相抵接触的固定段。

优选的，上述中PECVD的石英管用锁紧装置中，所述锁紧段的内径大于所述连接段的内径。

优选的，上述中PECVD的石英管用锁紧装置中，所述密封段靠近所述法兰的一端设置有能够限制所述第二锁件远离所述法兰的凸台，所述凸台上设置有供所述锁柱通过所述密封段的开口。

优选的，上述中PECVD的石英管用锁紧装置中，所述凸台沿所述密封段的周向延伸，所述凸台的外壁与所述锁紧段的内壁贴合。

优选的，上述中PECVD的石英管用锁紧装置中，所述锁柱的数目为两个，且所述锁柱关于所述第一锁件的轴线对称分布；所述开口的数目为两个。

优选的，上述中PECVD的石英管用锁紧装置中，所述固定段与所述密封段相连的一端设置有向所述密封段凸出，且能够限制所述密封组件的密封件沿远离所述法兰的方向移动的抵接段。

优选的，上述中PECVD的石英管用锁紧装置中，所述锁紧段外壁上设置有盲孔，所述盲孔与所述锁柱共轴线。

优选的，上述中PECVD的石英管用锁紧装置中，所述第一锁件的外壁上设置有第一工具定位孔。

优选的，上述中PECVD的石英管用锁紧装置中，所述第一工具定位孔沿所述第一锁件的周向均匀分布于所述第一锁件上。

优选的，上述中PECVD的石英管用锁紧装置中，所述第二锁件远离所述第一锁件的一端的外壁上设置有第二工具定位孔。

本实用新型提供的PECVD的石英管用锁紧装置的锁紧方法如下：