[实用新型]PECVD的石英管用锁紧装置

权利要求书

1.一种PECVD的石英管用锁紧装置，包括设有卡槽(51)的法兰(5)和套设于所述石英管(1)上的密封组件(4)，所述卡槽(51)包括相连通的轴向段和周向段，其特征在于，该石英管用锁紧装置还包括：

套设于所述石英管(1)上的第一锁件(2)，所述第一锁件(2)包括连接段(22)和可外套于所述法兰(5)的锁紧段(21)，所述锁紧段(21)内部设置有可沿所述卡槽(51)移动的锁柱(211)；

可卡设于所述第一锁件(2)内部，能够被限制沿远离所述法兰(5)的方向移动的第二锁件(3)，所述第二锁件(3)包括套设于所述密封组件(4)上的密封段(31)和套设于所述石英管(1)上，且端面与所述密封组件(4)相抵接触的固定段(32)。

2.根据权利要求1所述的PECVD的石英管用锁紧装置，其特征在于，所述锁紧段(21)的内径大于所述连接段(22)的内径。

3.根据权利要求2所述的PECVD的石英管用锁紧装置，其特征在于，所述密封段(31)靠近所述法兰(5)的一端设置有能够限制所述第二锁件(3)远离所述法兰(5)的凸台(311)，所述凸台(311)上设置有供所述锁柱(211)通过所述密封段(31)的开口(312)。

4.根据权利要求3所述的PECVD的石英管用锁紧装置，其特征在于，所述凸台(311)沿所述密封段(31)的周向延伸，所述凸台(311)的外壁与所述锁紧段(21)的内壁贴合。

5.根据权利要求3所述的PECVD的石英管用锁紧装置，其特征在于，所述锁柱(211)的数目为两个，且所述锁柱(211)关于所述第一锁件(2)的轴线对称分布；所述开口(312)的数目为两个。

6.根据权利要求1所述的PECVD的石英管用锁紧装置，其特征在于，所述固定段(32)与所述密封段(31)相连的一端设置有向所述密封段(31)凸出，且能够限制所述密封组件(4)的密封件沿远离所述法兰(5)的方向移动的抵接段。

7.根据权利要求1所述的PECVD的石英管用锁紧装置，其特征在于，所述锁紧段(21)外壁上设置有盲孔(212)，所述盲孔(212)与所述锁柱(211)共轴线。

8.根据权利要求1-7中任意一项所述的PECVD的石英管用锁紧装置，其特征在于，所述第一锁件(2)的外壁上设置有第一工具定位孔(221)。

9.根据权利要求8所述的PECVD的石英管用锁紧装置，其特征在于，所述第一工具定位孔(221)沿所述第一锁件(2)的周向均匀分布于所述第一锁件(2)上。

10.根据权利要求1-7中任意一项所述的PECVD的石英管用锁紧装置，其特征在于，所述第二锁件(3)远离所述第一锁件(2)的一端的外壁上设置有第二工具定位孔(321)。