[发明专利]一种用于大型板式PECVD设备的表面电场增强装置无效

申请号：	201210593436.7	申请日：	2012-12-29
公开（公告）号：	CN103046027A	公开（公告）日：	2013-04-17
发明（设计）人：	李昌龙;赵崇凌;李士军;张健;张冬;洪克超;徐宝利;钟福强;陆涛;许新;王刚;刘兴;张妍;王学敏;李松;屈秋霞;张缔;朱龙来;徐浩宇;赵科新;闫用用	申请（专利权）人：	中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
主分类号：	C23C16/511	分类号：	C23C16/511
代理公司：	沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002	代理人：	何丽英
地址：	110168 辽***	国省代码：	辽宁;21
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摘要：
搜索关键词：	一种用于大型板式 pecvd 设备表面电场增强装置
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【权利要求书】：

1.一种用于大型板式PECVD设备的表面电场增强装置，其特征在于：包括工艺腔（7）和设置于工艺腔（7）内的电极基板（3）、碳板（2）、传输滚轮（1）及绝缘销（8），其中电极基板（3）通过绝缘销（8）固接于工艺腔（7）的内壁上，所述碳板（2）设置于传输滚轮（1）上、并位于电极基板（3）的下方，碳板（2）与电极基板（3）之间留有间隙，所述电极基板（3）接入电压，吸引N^3-或Si⁴⁺离子。

2.按权利要求1所述的用于大型板式PECVD设备的表面电场增强装置，其特征在于：所述电极基板（3）与电极基板（3）之间的间隙为10～60mm。

3.按权利要求1所述的用于大型板式PECVD设备的表面电场增强装置，其特征在于：所述电极基板（3）接入电压为直流0～3000V或－3000～0V。

4.按权利要求1所述的用于大型板式PECVD设备的表面电场增强装置，其特征在于：所述电极基板（3）的表面为平面、且面积为1m²。

5.按权利要求1-4任一项所述的用于大型板式PECVD设备的表面电场增强装置，其特征在于：所述电极基板（3）采用金属材料。

6.按权利要求5所述的用于大型板式PECVD设备的表面电场增强装置，其特征在于：所述电极基板（3）采用铝、铜或钢。

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