[发明专利]用于PECVD设备的硅片自动上下料装置

权利要求书

1.一种用于PECVD设备的硅片自动上下料装置，其特征是：在机架上转动安装有机械手（10），在机械手（10）上安装有吸盘（11），在机械手（10）外侧的机架上安装有第一硅片盒输送机构（1a）、第一升降平台机构（2a）、导向机构（3）、第一出片搬运机构（4a）、第一储料机构（5a）、第一运输机构（6a）、第一小车定位机构（7a）、第一石墨舟定位机构（8a）与第一搬运小车（9a），在机架上内侧位置安装有第二硅片盒输送机构（1b）、第二升降平台机构（2b）、出片输送机构（12）、第二出片搬运机构（4b）、第二储料机构（5b）、第二运输机构（6b）、第二小车定位机构（7b）、第二石墨舟定位机构（8b）与第二搬运小车（9b）；所述第一运输机构（6a）安装于第一出片搬运机构（4a）的前方，第二运输机构（6b）安装于出片输送机构（12）的前方，机械手（10）安装于第一运输机构（6a）与第二运输机构（6b）之间的机架上。

2.如权利要求1所述的用于PECVD设备的硅片自动上下料装置，其特征是：所述第一硅片盒输送机构（1a）与第二硅片盒输送机构（1b）结构相同，它们包括第一电机（1.1）、托板（1.2）、同步带（1.3）、第一同步带轮（1.4）、第二同步带轮（1.5）、转动轴（1.6）、第三同步带轮（1.7）与第四同步带轮（1.8），在第一电机（1.1）的输出端连接有第四同步带轮（1.8），转动轴（1.6）的两端均固定有第一同步带轮（1.4），两第一同步带轮（1.4）之间的转动轴（1.6）上固定有第三同步带轮（1.7），第四同步带轮（1.8）通过同步带（1.3）连接第三同步带轮（1.7），同步带（1.3）绕过第一同步带轮（1.4）、托板（1.2）与第二同步带轮（1.5）。

3.如权利要求1所述的用于PECVD设备的硅片自动上下料装置，其特征是：所述第一升降平台机构（2a）与第二升降平台机构（2b）结构相同，它们包括安装支座（2.10）、竖向升降组件和水平输送组件，水平输送组件通过第一连接板（2.7）固定于竖向升降平台组件上，竖向升降组件通过安装支座（2.10）固定于机架上；

所述竖向升降组件包括第二电机（2.1），第二电机（2.1）安装在安装支座（2.10）上，第二电机（2.1）的输出端通过联轴器与第一丝杠（2.5）的一端连接，所述第一丝杠（2.5）的两端通过轴承座转动安装在安装支座（2.10）上，安装支座（2.10）上平行安装有第一线轨（2.2），在第一线轨（2.2）内滑动连接有第一滑块（2.3），第一丝杠（2.5）上安装有第一螺母（2.4），第一滑块（2.3）及第一螺母（2.4）固定在第一连接板（2.7）上；

所述水平输送组件包括第三电机（2.11），第三电机（2.11）的输出端固定同步带轮，转轴（2.13）的两端固定两个第五同步带轮（2.12），第三电机（2.11）的输出端的同步带轮通过第二同步带（2.14）与转轴（2.13）上的第十同步带轮（2.16）连接，第二同步带（2.14）绕过第六同步带轮（2.15）与第五同步带轮（2.12），转轴（2.13）上方设置有两个挡块（2.9），所述第一连接板（2.7）的上端固定有第一气缸（2.6），第一气缸（2.6）的活塞杆端部安装有压紧头。