[发明专利]一种新型平板式PECVD设备及其气路接孔结构

权利要求书

1.一种新型平板式PECVD气路接孔结构，其特征在于，特气气孔的输出端连通有新型特气孔接头，所述新型特气孔接头具有顶端封闭的管体，在所述管体的侧壁上开设有多个侧孔，每个所述侧孔的输出端均连通有侧管，每个所述侧管的输出方向与所述特气气孔的输出方向相同。

2.根据权利要求1所述的新型平板式PECVD气路接孔结构，其特征在于，多个所述侧孔及其对应的所述侧管在所述新型特气孔接头的侧壁上沿周向均匀分布。

3.根据权利要求2所述的新型平板式PECVD气路接孔结构，其特征在于，相邻的两个所述侧孔的高度不相同。

4.根据权利要求3所述的新型平板式PECVD气路接孔结构，其特征在于，多个所述侧孔采用低位和高位相间的方式分布在所述管体的侧壁上。

5.根据权利要求4所述的新型平板式PECVD气路接孔结构，其特征在于，位于低位的多个所述侧孔的高度相同，组成第一侧孔组；位于高位的多个所述侧孔的高度相同，组成第二侧孔组。

6.根据权利要求5所述的新型平板式PECVD气路接孔结构，其特征在于，所述第一侧孔组的多个所述侧孔位于所述特气气孔的上方1.5-2mm处，所述第二侧孔组的多个所述侧孔位于所述特气气孔的上方4-5mm处。

7.根据权利要求6所述的新型平板式PECVD气路接孔结构，其特征在于，所述侧管的孔径具体为0.8-1.5mm。

8.根据权利要求1所述的新型平板式PECVD气路接孔结构，其特征在于，每个所述侧管输出端的开口高度平齐，与所述管体的顶端处于同一水平面上。

9.根据权利要求1-8任意一项所述的新型平板式PECVD气路接孔结构，其特征在于，所述管体具有八个侧面，每个侧面上均开设有一个所述侧孔，八个所述侧孔采用低位和高位相间的方式分布，位于低位的四个所述侧孔均为位于所述特气气孔的上方1.5-2mm处，位于高位的四个所述侧孔均为位于所述特气气孔的上方4-5mm处。

10.一种新型平板式PECVD设备，包括沉积氮化硅膜用的气路，其特征在于，在所述气路的特气气孔的输出端连通有如权利要求1-9任意一项所述的新型特气孔接头。