[发明专利]蓝宝石衬底转移石墨烯的退火方法

权利要求书

1.一种蓝宝石衬底转移石墨烯的退火方法，其特征在于，

采用在H2气气氛中较低温度退火，有效地去除了石墨烯表面吸附的水分子和其他杂质分子；采用低温退火的方式，修复衬底转移过程中产生的石墨烯缺陷，进一步去除转移过程中没能去除或是新引进的杂质，同时低温退火还可使衬底与石墨烯接触得到改善。

2.如权利要求1所述的退火方法，其特征在于，其实现步骤包括如下：

(1)将铜箔放在反应室内，向反应室通入H₂；

(2)向反应室通入Ar和CH₄；

(3)在0.05g/ml-0.15g/ml的Fe(NO₄)₃水溶液中浸泡30-60min，使用蓝宝石衬底打捞起来；

(4)放入丙酮中浸泡24小时彻底去除残留的PMMA；

(5)分别用无水乙醇和去离子水漂洗，高纯N₂吹干；

(6)反应室抽真空，再通入Ar气；

(7)通入Ar和H₂的混合气。

3.如权利要求2所述的退火方法，其特征在于，将铜箔放在反应室内，向反应室通入H₂，对铜箔进行处理，流量1～20sccm，温度900～1000℃，时间20～60min，气压1～50Torr.

4.如权利要求2所述的退火方法，其特征在于，向反应室通入Ar和CH₄，保持Ar和CH₄的流量比为10∶1～2∶1，Ar流量20～200sccm，CH₄流量1～20sccm，气压维持在0.1～1Torr，温度900～1100℃，升温和保持时间共20～60min。

5.如权利要求2所述的退火方法，其特征在于，在0.05g/ml-0.15g/ml的Fe(NO₄)₃水溶液中浸泡30-60min，使用蓝宝石衬底打捞起来，在空气中加热60min，温度保持在150-200℃。

6.如权利要求2所述的退火方法，其特征在于，反应室抽真空，再通入H2气，气压0.01-0.1Torr，温度上升到100-200℃，保持30-40min。

7.如权利要求2所述的退火方法，其特征在于，通入Ar和H₂的混合气，混合比例为10∶1～1∶1，气压维持在0.01-0.1Torr，退火温度为200-600℃，退火时间1-2h。