[发明专利]发光显示装置及其制造方法有效
申请号: | 201210403360.7 | 申请日: | 2007-06-07 |
公开(公告)号: | CN102881713A | 公开(公告)日: | 2013-01-16 |
发明(设计)人: | 藤冈弘文;小泽信夫 | 申请(专利权)人: | 索尼株式会社 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/56 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 焦玉恒 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光 显示装置 及其 制造 方法 | ||
1.一种发光显示器,包括多个驱动元件和电连接至所述驱动元件的第一配线层,该显示器包括:
第一电极,分别对应于所述驱动元件,且位于所述驱动元件和所述配线层之上;
发光部分,分别形成在所述第一电极之上;
公共第二电极,由允许来自所述发光部分的光穿过的材料形成并布置在所述多个发光部分上;以及
导电接触层,电连接所述公共第二电极和配线层,所述公共第二电极的一部分与所述导电接触层直接接触,并且所述配线层的一部分位于所述导电接触层之上且与所述导电接触层直接接触。
2.根据权利要求1所述的发光显示器,还包括具有比所述第二电极的电阻低的电阻的配线层。
3.根据权利要求1所述的发光显示器,其中所述第一配线层和所述导电接触层通过图案化一个导电层而形成。
4.根据权利要求3所述的发光显示器,其中所述公共第二电极和所述配线层通过所述导电接触层彼此部分地连接。
5.根据权利要求3所述的发光显示器,其中所述导电层是多层膜,所述多层膜包括:
低蚀刻选择性膜,在所述多层膜的至少最上层,并由相对于所述第一电极具有相对低的蚀刻选择性的材料制成,以及
高蚀刻选择性膜,在所述低蚀刻选择性膜的下层,并由相对于所述第一电极具有相对高的蚀刻选择性的材料制成,并且
所述导电接触层中的所述低蚀刻选择性膜被部分地移除。
6.根据权利要求5所述的发光显示器,其中:
平坦化绝缘层和电极间绝缘层在所述导电接触层和所述公共第二电极之间,所述平坦化绝缘层和所述电极间绝缘层在与所述导电接触层对应的区域中都具有开口,并且
所述电极间绝缘层在所述平坦化绝缘层上,且所述电极间绝缘层的开口在所述平坦化绝缘层的开口的内侧。
7.根据权利要求3所述的发光显示器,其中:
所述导电层由相对于所述第一电极具有相对低的蚀刻选择性的材料制成,并且
所述导电接触层的上层部分被部分地移除。
8.根据权利要求7所述的发光显示器,特征在于:
平坦化绝缘层和电极间绝缘层形成在所述导电接触层和所述公共第二电极之间,所述平坦化绝缘层和所述电极间绝缘层在与所述导电接触层对应的区域中都具有开口,并且
所述电极间绝缘层形成在所述平坦化绝缘层上,且所述电极间绝缘层的开口形成在所述平坦化绝缘层的开口的内侧。
9.根据权利要求1所述的发光显示器,其中:
绝缘层在所述导电接触层和所述公共第二电极之间,所述绝缘层在与所述导电接触层对应的区域中具有开口,并且
所述开口的侧表面具有宽的顶部和窄的底部的台阶状形状。
10.根据权利要求1所述的发光显示器,其中所述导电接触层由相对于所述第一电极具有相对高的蚀刻选择性的材料制成。
11.一种发光显示器的制造方法,包括步骤:
在基板上形成驱动元件和第一配线层,并且将所述多个驱动元件和所述配线层电连接;
在所述驱动元件和所述配线层上形成第一导电层;
通过图案化所述第一导电层而形成辅助配线层以及分别对应于所述多个驱动元件的第一电极;
在每个所述第一电极上形成各自的发光部分;
在所述多个发光部分上由允许来自每个发光部分的光穿过的材料形成公共第二电极;以及
形成导电接触层,并通过所述导电接触层将所述公共第二电极和所述辅助配线层电连接,
其中,
所述公共第二电极的一部分与所述导电接触层直接接触,并且所述辅助配线层的一部分位于所述导电接触层之上且与所述导电接触层直接接触。
12.根据权利要求11所述的方法,其中所述配线层由具有比所述公共第二电极的电阻低的电阻的材料形成。
13.根据权利要求11所述的方法,其中形成一个第二导电层,并且所述第一配线层和所述导电接触层通过图案化所述第二导电层而形成。
14.根据权利要求13所述的方法,其中将所述公共第二电极和所述配线层电连接的步骤包括通过所述导电接触层将所述公共第二电极和所述配线层部分地连接。
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
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