[发明专利]一种射频阻抗自动匹配装置及方法

权利要求书

1.一种射频阻抗自动匹配装置，其特征在于，包括第一真空电容检测机构、第二真空电容检测机构、第一信号变送器、第二信号变送器、功率计和单片机，所述第一、第二真空电容检测机构的输出端分别与第一信号变送器电连接，所述功率计与第二信号变送器电连接，所述单片机的输入端分别与所述第一信号变送器和第二信号变送器的输出端电连接，所述单片机的控制输出端分别与所述第一、第二真空电容检测机构的输入端电连接。

2.如权利要求1所述的射频阻抗自动匹配装置，其特征在于，所述自动匹配装置还包括显示控制屏，所述显示控制屏与单片机的控制端连接。

3.如权利要求1或2所述的射频阻抗自动匹配装置，其特征在于，所述第一、第二真空电容检测机构均包括电位器、通轴连接杆、真空电容、减速机、步进电机和手轮，所述电位器通过所述通轴连接杆与所述真空电容的输出端连接，所述真空电容的输入端与所述减速机的输出轴连接，所述减速机的输入轴通过所述通轴连接杆与所述步进电机的输出轴连接，所述步进电机输出轴的另一端通过所述通轴连接杆连接所述手轮。

4.一种射频阻抗自动匹配方法，其特征在于，包括：

单片机将功率计采集的第一等离子体反射功率与第二等离子体反射功率进行比较运算，根据比较运算结果向驱动第一真空电容的步进电机发送控制信号，改变第一真空电容的位置；

所述单片机将所述功率计采集的第三等离子体反射功率与所述第二等离子体反射功率进行比较运算，根据比较运算结果向驱动第二真空电容的步进电机发送控制信号，改变第二真空电容的位置；

所述单片机根据所述第三等离子体反射功率小于等于匹配停止门限阈值的比较结果，分别向驱动第一、第二真空电容的步进电机发送停止信号。

5.如权利要求4所述的射频阻抗自动匹配方法，其特征在于，所述单片机将功率计采集的第一等离子体反射功率与第二等离子体反射功率进行比较运算的步骤具体包括：单片机计算得到第二等离子体反射功率与第一等离子体反射功率的差值，将所述差值求常用对数后的结果作为驱动第一真空电容的步进电机运行的速度调整值；比较第二等离子体反射功率与第一等离子体反射功率的大小。

6.如权利要求5所述的射频阻抗自动匹配方法，其特征在于，所述根据比较运算结果向驱动第一真空电容的步进电机发送控制信号的步骤具体为：如果第二等离子体反射功率大于第一等离子体反射功率，则所述单片机向驱动第一真空电容的步进电机发送包括电机运动方向改变指令和电机运行速度调整值的控制信号；如果第二等离子体反射功率小于等于第一等离子体反射功率，则所述单片机向驱动第一真空电容的步进电机发送包括电机运动方向不变指令和电机运行速度调整值的控制信号。

7.如权利要求4所述的射频阻抗自动匹配方法，其特征在于，所述单片机将所述功率计采集的第三等离子体反射功率与所述第二等离子体反射功率进行比较运算的步骤具体包括：所述单片机计算得到第三等离子体反射功率与第二等离子体反射功率的差值，将所述差值求常用对数后的结果作为驱动第二真空电容的步进电机运行的速度调整值；比较第三等离子体反射功率与第二等离子体反射功率的大小。

8.如权利要求7所述的射频阻抗自动匹配方法，其特征在于，所述根据比较运算结果向驱动第二真空电容的步进电机发送控制信号的步骤具体包括：如果第三等离子体反射功率大于第二等离子体反射功率，则所述单片机向驱动第二真空电容的步进电机发送包括电机运动方向改变指令和电机运行速度调整值的控制信号；如果第三等离子体反射功率小于等于第二等离子体反射功率，则所述单片机向驱动第二真空电容的步进电机发送包括电机运动方向不变指令和电机运行速度调整值的控制信号。

9.如权利要求4所述的射频阻抗自动匹配方法，其特征在于，所述单片机向驱动第一真空电容的步进电机发送控制信号的步骤还包括：所述单片机将第一真空电容的位置值和所述第二等离子体反射功率值输出到显示控制屏。

10.如权利要求4所述的射频阻抗自动匹配方法，其特征在于，所述单片机向驱动第二真空电容的步进电机发送控制信号的步骤还包括：所述单片机将第二真空电容的位置值和所述第三等离子体反射功率值输出到显示控制屏。