[发明专利]感光性树脂组合物无效
申请号: | 201210353222.2 | 申请日: | 2008-12-11 |
公开(公告)号: | CN102902162A | 公开(公告)日: | 2013-01-30 |
发明(设计)人: | 青合菜采;小林隆昭 | 申请(专利权)人: | 旭化成电子材料株式会社 |
主分类号: | G03F7/075 | 分类号: | G03F7/075;C08F283/12;C08G77/20;G03F7/00 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 | ||
1.一种感光性树脂组合物,其包含下述(a)~(d)成分:
(a)聚有机硅氧烷100质量份,所述聚有机硅氧烷通过将二苯基硅烷二醇、选自3-甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷、3-丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷、乙烯基甲基三甲氧基硅烷、乙烯基乙基三甲氧基硅烷、p-苯乙烯基三甲氧基硅烷、和p-苯乙烯基三乙氧基硅烷构成的组中的至少1种烷氧基硅烷化合物、和催化剂混合,并且不添加水而使其聚合的方法来获得;
(b)光聚合引发剂1~50质量份;
(c)下述通式(3)所示的芴化合物40~600质量份,
式(3)中,R5和R6分别独立地为碳原子数2~4的亚烷基,R7和R8分别独立地为氢原子或甲基,c和d为整数、c+d=0~24、c和d可以分别相同也可以不同,且芴骨架可以具有碳原子数1~28的取代基;和
(d)1分子内具有1个或2个(甲基)丙烯酰基的除(c)成分以外的化合物20~300质量份。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,所述(a)聚有机硅氧烷为通过使用下述通式(4)所示的金属醇盐、和下述通式(5)所示的金属醇盐中的至少1种催化剂聚合而成,
M1(OR9)4 (4)
式(4)中,M1为硅、锗、钛或锆中的任一种,且多个R9分别独立地为碳原子数1~4的烷基;
M2(OR10)3 (5)
式(5)中,M2为硼或铝,且多个R10分别独立地为碳原子数1~4的烷基。
3.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,所述(c)成分为下述通式(6)所示的芴化合物,
式(6)中,e和f分别独立地为1或2。
4.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其包含含芳香族基团(甲基)丙烯酸酯化合物作为所述(d)成分。
5.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,所述(d)成分为选自丙烯酸苯氧基乙酯、对苯基苯氧乙基丙烯酸酯、和对苯基苯基丙烯酸酯构成的组中的至少1种化合物。
6.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,所述(b)光聚合引发剂包含选自下述通式(7)所示的化合物、
和下述通式(8)所示的化合物
构成的组中的至少1种化合物。
7.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其进一步包含(e)分子内具有3个以上(甲基)丙烯酰基的化合物6~250质量份。
8.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其进一步包含(f)选自紫外线吸收剂、和含有受阻胺的光稳定剂构成的组中的至少一种化合物0.2~50质量份。
9.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其进一步包含(g)硅烷偶联剂1~100质量份。
10.一种固化物,其能够通过对权利要求1~9中任一项所述的感光性树脂组合物进行光固化而获得。
11.一种成型物的制造方法,其包括如下步骤:
将权利要求1~9中任一项所述的感光性树脂组合物填充于成型用的模具中的步骤;
将该成型用的模具的开口部按压于基板的步骤;
进行曝光的步骤;
剥离该模具的步骤;
和连同基材一起进行加热的步骤。
12.根据权利要求11所述的成型物的制造方法,该方法包括在将所述模具的开口部按压于基板的步骤之前,在所述基板上涂布硅烷偶联剂的步骤,且在将该模具的开口部按压于基板的步骤中,将该模具的开口部按压于基板的涂布了该硅烷偶联剂的面上。
13.根据权利要求11所述的成型物的制造方法,其包括如下步骤:在所述进行曝光的步骤之前,将所述模具的开口部按压于基板,并以该状态连同该基板一起在50~150℃下加热1分钟~30分钟。
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