[发明专利]太阳能电池制绒表面的抛光方法及抛光装置

说明书

技术领域

本发明属于太阳能电池技术领域，尤其涉及一种太阳能电池制绒表面的抛光方法及抛光装置。

背景技术

创新型的技术革新推动了光伏企业太阳能电池片性能的不断提高。目前，采用各种不同的新技术如选择性发射极技术、金属环绕贯通技术和背电极钝化技术等以提高晶硅电池片的转换效率。技术上不断细分和创新，使得电池片的光电转换效率仍有相当的上升空间。目前，多晶硅电池片光电转换效率的产线水平已经达到了17.1%以上，并且实验室水平的多晶硅电池片的光电转换效率已经超过了18%。

目前国内的一些光伏企业产线上的背电极钝化技术主要是原子层生长技术，即在多晶硅背电极表面涂覆一薄层Al₂O₃涂层，一方面Al₂O₃涂层可以有效的固定背电极表面的固定电荷，降低背面的载流子复合中心，有利于提高光电流的提升；另一方面，Al₂O₃涂层本身可以作为一背反射器，促进光能中的长波吸收；另外，Al₂O₃涂层介于多晶硅基体和背面金属之间，也缓和了电池片的翘曲等。背电极钝化技术的采用使得电池片的光电转换效率同比提高了约0.2%~0.5%。然而，在电池片的生产过程中，研究者们发现，在生产电池片初期进行的湿法（酸液法或碱液法）制绒结构对背电极钝化产生一些负面影响，因此，需要将初期湿法方面制备的绒面结构进行抛光，然后再进行原子层生长方法涂覆Al₂O₃涂层，以提高背电极的钝化效果。然而，由于湿法方法的各向同性特征使得仍然采用湿法方法进行表面抛光的效果相当不理想。

发明内容

有鉴于此，本发明要解决的技术问题在于提供一种太阳能电池制绒表面的抛光方法及抛光装置，该方法能够完全抛光初期制绒导致的绒面结构，表面结构分布均匀、光滑。

为了实现上述目的，本发明的技术方案如下：

本发明公开了一种太阳能电池制绒表面的抛光方法，其中，采用射频激发的行波耦合等离子体对制绒表面进行抛光。

优选的，在上述太阳能电池制绒表面的抛光方法中，所述射频激发的行波耦合等离子体在反应气体下对制绒表面进行抛光，所述反应气体选自六氟化硫和氧气、四氟化碳和氧气、六氟化硫、三氟化氮、三氟化氮和氧气、或六氟化硫和氯气。

本发明还公开了一种太阳能电池制绒表面的抛光装置，用以对制绒表面进行单面抛光，其中，所述抛光装置包括真空腔体及至少部分穿射于所述真空腔体上的至少一个玻璃管，所述玻璃管呈单排阵列设置，每个玻璃管中插入一根通入冷却水的金属管，金属管之间串联连接，玻璃管与真空腔体之间密封连接。

优选的，在上述太阳能电池制绒表面的抛光装置中，所述串联后金属管的一端接射频输入信号，另一端接地。

优选的，在上述太阳能电池制绒表面的抛光装置中，所述金属管为镀银铜管。

本发明还公开了一种太阳能电池制绒表面的抛光装置，用以对制绒表面进行双面抛光，其中，所述抛光装置包括真空腔体及至少部分穿射于所述真空腔体上的至少一个玻璃管，所述玻璃管呈双排阵列设置，每个玻璃管中插入一根通入冷却水的金属管，金属管之间串联连接，玻璃管与真空腔体之间密封连接。

优选的，在上述太阳能电池制绒表面的抛光装置中，所述串联后金属管的一端接射频输入信号，另一端接地。

本发明还公开了一种太阳能电池制绒表面的抛光装置，其中，所述抛光装置包括真空腔体及至少部分穿射于所述真空腔体上的至少一个玻璃管，所述玻璃管呈双排阵列设置，每个玻璃管中插入一根通入冷却水的金属管，金属管之间串联连接，玻璃管与真空腔体之间密封连接。

优选的，在上述太阳能电池制绒表面的抛光装置中，所述串联后金属管的一端接射频输入信号，另一端接地。

优选的，在上述太阳能电池制绒表面的抛光装置中，所述金属管为镀银铜管。