[发明专利]太阳能电池制绒表面的抛光方法及抛光装置

权利要求书

1.一种太阳能电池制绒表面的抛光方法，其特征在于：采用射频激发的行波耦合等离子体对制绒表面进行抛光。

2.根据权利要求1所述的制绒表面的抛光方法，其特征在于：所述射频激发的行波耦合等离子体在反应气体下对制绒表面进行抛光，所述反应气体选自六氟化硫和氧气、四氟化碳和氧气、六氟化硫、三氟化氮、三氟化氮和氧气、或六氟化硫和氯气。

3.一种权利要求1所述太阳能电池制绒表面的抛光装置，用以对制绒表面进行单面抛光，其特征在于：所述抛光装置包括真空腔体及至少部分穿射于所述真空腔体上的至少一个玻璃管，所述玻璃管呈单排阵列设置，每个玻璃管中插入一根通入冷却水的金属管，金属管之间串联连接，玻璃管与真空腔体之间密封连接。

4.根据权利要求3所述的太阳能电池制绒表面的抛光装置，其特征在于：所述串联后金属管的一端接射频输入信号，另一端接地。

5.根据权利要求3所述的太阳能电池制绒表面的抛光装置，其特征在于：所述金属管为镀银铜管。

6.一种权利要求1所述太阳能电池制绒表面的抛光装置，用以对制绒表面进行双面抛光，其特征在于：所述抛光装置包括真空腔体及至少部分穿射于所述真空腔体上的至少一个玻璃管，所述玻璃管呈双排阵列设置，每个玻璃管中插入一根通入冷却水的金属管，金属管之间串联连接，玻璃管与真空腔体之间密封连接。

7.根据权利要求6所述的太阳能电池制绒表面的抛光装置，其特征在于：所述串联后金属管的一端接射频输入信号，另一端接地。

8.一种权利要求1所述太阳能电池制绒表面的抛光装置，其特征在于：所述抛光装置包括真空腔体及至少部分穿射于所述真空腔体上的至少一个玻璃管，所述玻璃管呈双排阵列设置，每个玻璃管中插入一根通入冷却水的金属管，金属管之间串联连接，玻璃管与真空腔体之间密封连接。

9.根据权利要求8所述的太阳能电池制绒表面的抛光装置，其特征在于：所述串联后金属管的一端接射频输入信号，另一端接地。

10.根据权利要求8所述的太阳能电池制绒表面的抛光装置，其特征在于：所述金属管为镀银铜管。