[发明专利]直接测量晶向偏离角的晶体定向仪及测量方法有效

专利信息
申请号: 201210317112.0 申请日: 2012-08-31
公开(公告)号: CN103257150A 公开(公告)日: 2013-08-21
发明(设计)人: 姜杰;赵逸群;袁晓鹏;李长城;贾钰超;王远;方舟;刘涛;杨亮;肖建国;普群雁 申请(专利权)人: 云南北方驰宏光电有限公司
主分类号: G01N23/207 分类号: G01N23/207
代理公司: 昆明今威专利商标代理有限公司 53115 代理人: 赛晓刚
地址: 650223 云*** 国省代码: 云南;53
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摘要:
搜索关键词: 直接 测量 偏离 晶体 定向 测量方法
【权利要求书】:

1.直接测量晶向偏离角的晶体定向仪,其特征在于:在载物台⑶上有水平旋转台(32),水平旋转台能水平旋转,水平旋转面与光线传播面平行;在水平旋转台的中心固定有垂直旋转台(31),垂直旋转台可在垂直于光线传播面的平面内旋转;在载物台上的水平旋转台的一侧有一个X射线发生器⑴,在载物台上的水平旋转台的另一侧有一个X射线探测器⑵,X射线发生器和X射线探测器的光路均对着水平旋转台的中心,X射线发生器用于发出入射光线,X射线探测器用于接收X射线,X射线发生器和X射线探测器的光路处于光线传播面内;待测晶体固定在垂直旋转台上。

2.利用权利要求1的晶体定向仪直接测量晶向偏离角的方法,其特征在于步骤如下:

步骤一:将被测晶体固定在垂直旋转台(31)上,根据单晶所要求标定的晶面,按照布拉格定律计算出θ角和2θ角,根据θ角和2θ角,调整晶体定向仪,使被测晶体加工面的法线在X射线发生器⑴发出的入射光线和X射线探测器⑵接收的X射线所决定的光线传播面内,X射线入射光线和X射线探测器接收的X射线分居法线两侧,且与晶体加工面的夹角均为θ,此时将载物台⑶的角度测量仪记为零点;

步骤二:打开X射线发生器⑴和X射线探测器⑵,旋转垂直旋转台(31)使被测晶体在垂直于光线传播面的平面内旋转,同时观察X射线探测器的数值,当数值达到最大时,停止旋转,此时X射线的衍射强度达到最大,被测晶体的晶面和加工面的相交线平行于光线传播面或者位于光线传播面内;

步骤三:旋转垂直旋转平台(31)使被测晶体在垂直于光线传播面的平面内旋转90°,此时被测晶体的晶面和加工面的相交线垂直于光线传播面;

步骤四:旋转水平旋转平台(32)使被测晶体在光线传播面内以入射点为轴旋转,观察X射线探测器⑵的数值,当数值达到最大时,停止水平旋转台的旋转,此时被测晶体的晶面和加工面的相交线垂直于光线传播面,晶体加工面与X射线入射光线的夹角为α,被测晶体的晶面与X射线入射光线和反射光线夹角均为θ,直接读取载物台角度测量仪的度数即为晶向偏离角β。

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