[发明专利]堆积装置和堆积方法无效
申请号: | 201210313844.2 | 申请日: | 2008-11-21 |
公开(公告)号: | CN102912320A | 公开(公告)日: | 2013-02-06 |
发明(设计)人: | 安井宽治;西山洋;井上泰宣;三浦仁嗣 | 申请(专利权)人: | 国立大学法人长冈技术科学大学;东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | C23C16/452 | 分类号: | C23C16/452;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/40;C01G9/03 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 陈剑华;苗堃 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 堆积 装置 方法 | ||
1.一种堆积装置,其特征在于,具备:
催化反应装置,含有:导入第1原料气体的导入部,和收容从所述导入部所导入的所述第1原料气体生成反应性气体的催化剂的、催化剂容器,和从所述催化剂容器喷出所述反应性气体的反应性气体喷出部,所述反应性气体喷出部含有:内径沿着所述反应性气体的喷出方向变小的缩径部、和内径沿着所述喷出方向变大的扩径部;
支持基板的基板支持部;以及
供给第2原料气体的供给部,所述第2原料气体与从所述反应性气体喷出部喷出的所述反应性气体反应,使膜堆积于所述基板。
2.根据权利要求1所述的堆积装置,其中,所述催化反应装置被配置于可以减压排气的反应室内,所述第2原料气体为有机金属化合物的气体。
3.根据权利要求1所述的堆积装置,其中,进一步具备反应性气体分离器,所述反应性气体分离器含有相对于所述反应性气体喷出部隔开空隙而配置的漏斗状的盖子,所述盖子沿着从所述反应性气体喷出部喷出的所述反应性气体的喷出方向扩径,在顶部含有开口。
4.根据权利要求1所述的堆积装置,其中,供给所述第2原料气体的所述供给部的前端部临近所述反应性气体喷出部的所述扩径部地被配置。
5.根据权利要求3所述的堆积装置,其中,供给所述第2原料气体的所述供给部的前端部被配置于所述反应性气体分离器。
6.根据权利要求1~4中任一项所述的堆积装置,其中,进一步具备在反应性气体分离器和所述基板支持部之间配置的开闭阀。
7.根据权利要求1~4中任一项所述的堆积装置,其中,所述原料气体导入部连接于收纳选自H2气和O2气的混合气体、H2O2气、肼、和氮化物中的原料气体的原料气体供给部。
8.根据权利要求1~4中任一项所述的堆积装置,其中,所述催化剂容器被所述反应性气体喷出部封闭。
9.根据权利要求1~4中任一项所述的堆积装置,其中,所述催化剂容器被具有连通孔的分隔器分割为多个区域,该区域各自配置有催化剂容器。
10.根据权利要求1~4中任一项所述的堆积装置,其中,所述催化剂含有:具有0.05mm~2.0mm范围的平均粒径的载体,和担载于该载体上的、具有1nm~10nm范围的平均粒径的催化剂成分。
11.根据权利要求10所述的堆积装置,其中,所述载体是将多孔γ-氧化铝结晶相在500℃~1200℃下加热处理,原样维持其表面结构地变换为α-氧化铝结晶相而成的。
12.一种堆积方法,其特征在于,含有下述工序:
向收容从第1原料气体生成反应性气体的催化剂的、催化剂容器导入该第1原料气体,生成反应性气体的工序;
向反应性气体喷出部导入在所述催化剂容器中生成的所述反应性气体,并且供给第2原料气体,使从所述反应性气体喷出部喷出的所述反应性气体与所述第2原料气体反应的步骤,其中,所述反应性气体喷出部含有:内径沿着所述反应性气体的喷出方向变小的缩径部、和内径沿着所述喷出方向变大的扩径部;和
将基板暴露于通过所述反应性气体与所述第2原料气体的反应而生成的前体,从而使膜堆积的步骤。
13.一种堆积方法,其特征在于,含有下述工序:
向收容从第1原料气体生成反应性气体的催化剂的、催化剂容器导入该第1原料气体的步骤;
向反应性气体喷出部导入在所述催化剂容器中生成的所述反应性气体的步骤,其中,所述反应性气体喷出部含有:内径沿着所述反应性气体的喷出方向变小的缩径部、和内径沿着所述喷出方向变大的扩径部;
向反应性气体分离器导入从所述反应性气体喷出部喷出的所述反应性气体,并且供给第2原料气体,使穿过所述反应性气体分离器的所述反应性气体与所述第2原料气体反应的步骤,其中,所述反应性气体分离器含有相对于所述反应性气体喷出部隔开空隙而配置的漏斗状的盖子,所述盖子沿着从所述反应性气体喷出部喷出的所述反应性气体的喷出方向扩径,在顶部含有开口;和
将基板暴露于通过所述反应性气体与所述第2原料气体的反应而生成的前体,从而使膜堆积的步骤。
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C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的