[发明专利]太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统及方法

说明书

技术领域

一种基板处理系统及基板处理方法，尤其是涉及一种可大幅减少药液供给量及提升薄膜沉积均一性的太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统及其处理方法。

背景技术

现今电子工业迅速发展，许多电子产品都需要应用到物理沉积技术或化学沉积技术。另外全世界面临石油能源耗竭、成本高昂及环保等问题，造成太阳能与氢能源燃料电池的需求与日遽增，由于太阳能电池制造时，必须在一基材上构成多种沉积层(薄膜)，才能有效的发挥其功能，足见沉积制程为电子产业及民生产业一个极为重要的关键技术。

现有的化学浴沉积(Chemical Bath Deposition，CBD)制程及其设备，亦为沉积技术之一，其将表面预作处理的一基材(例如不锈钢板等)浸入化学药液中持续一定时间，在该基材表面沉积形成半导体薄膜。但现有的化学浴沉积设备，将基材完全浸入化学药液之中，如此将导致该基材双面都成膜，然而该基材实际应用上只需要其中一面已足，多余部分形同资源的浪费，并导致制造成本增加。

因此，如何创作出一种化学镀浴沉积设备，以使该化学镀浴沉积设备可在挠性基材的单面进行化学镀浴沉积，并能适时进行加热处理，将是本发明所欲积极揭露之处。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统，其中利用药液盖与基板密闭盖合以围置出具有局限空间的药液盒，如此只需注入足使可均匀覆盖在基板的药液，再对药液盒进行加热处理，即能促使薄膜均匀地沉积于基板上，如此可大幅减少药液使用量，又药液在药液盒中时皆恒接触到基板表面，致使沉积于基板上的薄膜均匀性更为统一。

本发明的另一目的在于提供一种太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统，其进一步具有将药液盖自基板处理系统的出口侧再载送回基板处理系统的出口侧的机制，如此可循环重复利用药液盖，大幅节省药液用量，并提升处理效率。

本发明的另一目的在于提供一种基板沉积薄膜的处理方法，洗净及干燥待处理的一基板；将一药液盖罩盖于该基板的该无效区，并使该药液盖与该基板相固定密合以形成具有一局限空间的一密封结构体；将一药液注入于该药液盒之内，以使该基板的该处理区皆覆盖有该药液；对已注入有该药液的该药液盒进行加热处理，以于该基板的处理区沉积出一薄膜；在形成该薄膜后将该药液自该药液盒倾倒出去；解除该药液盖对该基板的固定关系；将该药液盖自该基板上转移出去给下一片待处理基板的罩盖使用；以及洗净及干燥已与该药液盖分开的该基板。

其中，从该基板上转移出去的该药液盖可经由盐酸去除附着于该药液盖的该药液，再经清水洁净后转移给下一片基板的罩盖使用。

附图说明

图1为本发明的一实施例的太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统的系统各单元连接示意图。

图2A为本发明的一实施例的太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统的基板平面示意图。

图2B为本发明的一实施例的图2A的侧面示意图。

图3为本发明的一实施例的太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统的系统平面示意图。

图4为本发明的一实施例的药液盖与基板封组后的剖面示意图。

图5为本发明的一实施例的太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统的供液单元示意图。

图6为本发明的一实施例的太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统的化学镀浴单元示意图。

图7为本发明的一实施例的药液盒于化学镀浴单元中的状态示意图。

图8为本发明的一实施例的太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统的药液排出单元示意图。

图9为本发明的一实施例的药液排出单元呈倾斜状态的示意图。

图10为本发明的一实施例的太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统的较佳实施例示意图。

图11为本发明的一实施例的太阳能电池的基板沉积薄膜的处理方法的流程图。

其中，附图标记说明如下：

1    基板预洗单元         1a   清洗装置

1b   干燥装置             2    药液盖转移单元

21   药液盖转移装置       23   滑轨

2a   药液盖固定段         2b   药液盖脱离段

7    基板冲洗装置         3    供液单元

31   供液装置             4    药液

5    化学镀浴单元         51   传送装置