[发明专利]太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统及方法

权利要求书

1.一种太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统，其特征在于，用以处理

一基板，该基板具有一无效区及一处理区，该无效区为该基板的周边无法受到沉积处理的区域，该处理区则为该基板未被该无效区所涵盖的区域，该基板于沉积处理时与一药液盖结合成具有一局限空间的一密封结构体，该局限空间于沉积处理时包含一药液以沉积一薄膜，该处理系统包含：

一供液单元，其用于将该药液注入于所传送过来的该密封结构体之内，以使该基板的该处理区皆覆盖有该药液；

一化学镀浴单元，设置于该供液单元之后，其用于接收并传送自该供液单元传送而来的该密封结构体，并于该基板的该处理区上藉由传送该密封结构体而沉积出该薄膜，当该薄膜形成后该化学镀浴单元再将该密封结构体传送出去；及

一药液排出单元，设置于该化学镀浴单元之后，其用以接收由该化学镀浴单元传送过来的该密封结构体，并将该密封结构体之内的该药液排出。

2.如权利要求1所述的太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统，其特征在于，更包含：

一药液盖转移单元，该药液盖转移单元设置于该供液单元之前并设置于该药液排出单元之后，该药液盖转移单元用以当该基板进入该供液单元前将该药液盖转移至该基板的该无效区，以使该药液盖与该基板固定密合成具有该局限空间的该密封结构体，而当该基板离开该药液排出单元后则将该密封结构体分成该基板及该药液盖，并将该药液盖转移至该供液单元之前以供固定密合该密封结构体。

3.如权利要求1所述的太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统，其特征在于，更包含：

一药液盖转移单元，该药液盖转移单元设置于该供液单元之前并设置于该药液排出单元之后，该药液盖转移单元包含一药液盖转移装置、滑轨、一药液盖固定段、一药液盖脱离段，其中该滑轨的两端分别连接该药液盖固定段及该药液盖脱离段，该药液盖固定段及该药液盖脱离段分别连接该供液单元及该药液排出单元，而该药液盖转移装置则装设于该滑轨的两端之间，该药液盖转移装置并可于该滑轨的两端来回移动，该药液盖转移装置用于当该基板停留于该药液盖固定段时将该药液盖转移至该基板的该无效区，以使该药液盖与该基板固定密合成具有该局限空间的该密封结构体，而当该基板停留于该药液盖脱离段时则将该密封结构体分成该基板及该药液盖，并将该药液盖从该药液盖脱离段转移至该药液盖固定段，该药液盖固定段及该药液盖脱离段用以分别接收所传送过来的该基板。

4.如权利要求3所述的太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统，其特征在于，该药液盖固定段及该药液盖脱离段之间进一步设置有一药液盖清洗槽及一药液盖洁净槽，该药液盖清洗槽的内含溶液是一盐酸浴，而该药液盖洁净槽的内含溶液是一清水浴，该药液盖转移装置将该药液盖依序送入至该药液盖清洗槽及该药液盖洁净槽之中，藉以利用该盐酸浴清洗去除附着于该药液盖的药液，接着利用该清水浴洁净该药液盖。

5.如权利要求3所述的太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统，其特征在于，该药液盖转移装置是一机械手臂或一真空吸附式机械手臂。

6.如权利要求3所述的太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统，其特征在于，该药液盖转移单元更包含有一基板冲洗装置，该基板冲洗装置设置于该药液盖脱离段，该基板冲洗装置用于当该药液盖转移装置将该药液盖从该基板上转移出去后对该基板进行冲洗，以去除仍残留于该基板上的该药液。

7.如权利要求3所述的太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统，其特征在于，该药液盖转移单元更包含两滑轨，该两滑轨为相互并列的设置，而该药液盖转移装置则装设于该两滑轨之间。

8.如权利要求1所述的太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统，其特征在于，更包含：

一基板预洗单元，该基板预洗单元设置于该供液单元之前，该基板预洗单元用于清洗及干燥待处理的该基板；及

一基板终洗单元，该基板终洗单元设置于该药液排出单元之后，该基板终洗单元用于清洗及干燥所传送过来的该基板。

9.如权利要求8所述的太阳能电池的基板沉积薄膜的处理系统，其特征在于，该基板预洗单元更包含：

至少一个清洗装置，其为一个空气幕帘、一个空气吸入单元、一个滚轮刷与喷洒器、一个去离子水喷嘴或一风刀的至少其中之一。