[发明专利]芯片焊接机以及焊接方法

说明书

技术领域

本发明涉及芯片焊接机以及焊接方法，特别是涉及无需取出晶圆便可以处理具有多个等级的晶圆的芯片焊接机以及焊接方法。

背景技术

在把芯片（半导体芯片）（以下简称为芯片）放置在配线基板或引线框等基板上来组装封装的工序的一部分中，具有从半导体晶圆（以下简称为晶圆）分割芯片的工序和将分割后的芯片焊接在基板上的工序。

在拾取的晶圆上的芯片中，根据电气特性辨别为多个等级，并存储在控制装置的存储器上。为了把这样的具有多个等级的芯片安装在基板上，针对每个等级通过不同的芯片焊接进行安装所以更换需要花费时间，生产性降低。此外，当从芯片焊接机中取出拾取一次的晶圆时，薄片的张力减缓剩余的芯片彼此接触，存在芯片损坏产率降低的担心。

作为解决该课题的技术具有专利文献1。专利文献1公开的技术设置输送引线框的多个道路，通过焊接头在每个道路中焊接多个等级。

但是，对于各种芯片焊接机具有无需取出晶圆便可以进行处理的要求。第一、是具有单一的输送道和单一的焊接头的芯片焊接机，第二、是为了提高现今的生产性具有多个输送道以及多个焊接头的芯片焊接机。

在专利文献1中，没有针对上述需求的认识，当然没有公开具体的解决方案。

【专利文献1】日本特开平07-193093号公报

发明内容

因此，本发明的第一目的在于，提供在具有单一输送道和单一焊接头的芯片焊接机中，无需取出晶圆便可以进行具有多个等级的芯片的晶圆的等级处理的芯片焊接机或焊接方法。

此外，本发明的第二目的在于，提供在具有多个输送道和多个焊接头的芯片焊接机中，无需取出晶圆便可以进行具有多个等级的芯片的晶圆的等级处理的芯片焊接机或焊接方法。

本发明为了达成上述目的，至少具有以下的特征。

本发明的第一特征为：一种芯片焊接机或焊接方法，生成按多个等级中的每个等级，对晶圆具有的电气特性不同的芯片进行分类得到的分类芯片的分类映射，从所述晶圆中拾取芯片，在基板或已经焊接的芯片上焊接通过拾取头拾取的所述芯片，通过输送道把对应于所述分类芯片进行焊接的分类基板以所述分类基板为单位输送到进行焊接的焊接区域，具有单一的所述输送道和单一的所述焊接头，或者具有多个所述输送道和多个所述焊接头，所述芯片焊接机或焊接方法具有根据所述分类映射，把所述分类芯片焊接在对应的所述分类基板上。

本发明的第二特征为所述多个等级的多个是指2个。

并且，本发明的第三特征为所述芯片焊接机具有单一的所述输送道和单一的焊接头，所述分类控制从所述输送道的一端供给多个所述分类基板中的至少一个所述分类基板，在进行所述焊接后将其返回送出到所述一端。

此外，本发明的第四特征为所述芯片焊接机具有多个所述输送道和多个所述焊接头，所述分类控制向所述多个输送道中的至少一个所述输送道，从其两端供给不同的分类基板，将所述不同的分类基板返回送出到各自供给的一侧。

此外，本发明的第五特征为所述多个等级的多个是指3个，所述分类控制步骤在对焊接的个数最多的最多分类芯片进行输送的最多输送道中，串联输送两台放置了用于焊接所述最多分类芯片的多个所述分类基板的基板输送托板，从所述输送道的一端输送到另一端。

本发明的第六特征为具有所述多个等级的多个是指4个的4个分类芯片，或者具有所述晶圆具有两种所述芯片并且各芯片具备两个等级的4个分类芯片，所述分类控制从两个所述输送道的四个端部，分别向所述输送道供给所述4个分类芯片所对应的4个分类基板，将所述4个分类基板返回送出到各自供给的一侧。

本发明的第七特征为所述多个等级、多个所述输送道以及多个所述焊接头的多个都是指2个，所述分类控制单元通过输送焊接的个数最多的最多分类芯片的最多输送道，串联输送两台放置了用于焊接所述最多分类芯片的多个所述分类基板的基板输送托板，从所述最多输送道的一端输送到另一端。

本发明的第八特征为所述分类控制在对焊接的个数最多的最多分类芯片进行了焊接后，焊接其他的分类芯片。

本发明的第九特征为所述分类控制步骤从容易拾取的所述分类芯片中，或者在预定时间或预定个数内进行拾取，以便成为各分类的预定的比例。

本发明的第十特征为所述分类控制在所述串联输送的两台所述基板输送托板中的靠近所述另一端侧的基板输送托板的全部的所述分类基板上进行了焊接时，使靠近所述一端侧的基板输送托板移动到靠近所述另一端侧的基板输送托板的位置。