[发明专利]玻璃基板检查系统以及玻璃基板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及玻璃基板检查系统以及玻璃基板的制造方法。

背景技术

一直以来，作为检查玻璃基板的系统，已知具备将玻璃基板从盒中取出的取出装置和对利用取出装置从盒中取出的玻璃基板的主平面进行检查的检查装置的系统(例如，参照专利文献1)。

此外，作为对收纳于盒中的玻璃基板的收纳状况进行检查的检查装置，提出了具备对盒整体进行拍摄的摄像装置，并对利用摄像装置拍摄的图像进行图像处理来检查收纳状况的装置(例如，参照专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本专利特开2003-95372号公报

专利文献2:日本专利特开2011-70729号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

收纳未检查的玻璃基板的盒具有多个能够收纳玻璃基板的收纳位置，在各收纳位置能够各收纳1枚玻璃基板，但有时在一部分的收纳位置没有收纳玻璃基板。

现有的取出装置中，在控制装置的控制下，在每个盒的收纳位置进行从收纳位置取出玻璃基板的动作。由于对所有的收纳位置进行该动作，且对没有玻璃基板的收纳位置也进行该动作，因此检查效率差。

本发明是鉴于上述问题而完成的发明，其目的在于提供检查效率优异的玻璃基板检查系统。

解决技术问题所采用的技术方案

为了达到上述目的，本发明提供一种玻璃基板检查系统，

该玻璃基板检查系统具备将玻璃基板从盒中取出的取出装置和对利用上述取出装置从上述盒中取出的玻璃基板进行检查的检查装置，上述盒具有多个能够收纳玻璃基板的收纳位置；

上述玻璃基板检查系统具有在每个上述收纳位置使上述取出装置进行从上述收纳位置取出上述玻璃基板的动作的实行部，和

在每个上述收纳位置判定有无上述玻璃基板的有无判定部；

对于由上述有无判定部判定为无上述玻璃基板的收纳位置，上述实行部使上述取出装置不进行取出动作。

发明的效果

根据本发明，能够提供检查效率优异的玻璃基板检查系统。

附图说明

图1是本发明一实施方式的玻璃基板检查系统的侧视图。

图2是盒中收纳有玻璃基板的状态的一例的俯视图。

图3是检查装置中的心轴的一例的说明图(1)。

图4是检查装置中的心轴的一例的说明图(2)。

图5是在盒的输送方向观察时的摄像装置的一例的说明图。

图6是利用相机拍摄的图像的一例的示意图。

图7是利用相机拍摄的图像的一例的局部放大图。

图8是状态判断部进行的处理的一例的流程图。

图9是有无判定部进行的处理的一例的流程图。

图10是板厚判别部进行的处理的一例的流程图。

图11是通过有无判定部及板厚判别部制作的表格的一例的示意图。

符号说明

10玻璃基板检查系统

20玻璃基板

21圆孔

24、25主平面

30盒

34直线状部分

40取出装置

50检查装置

60摄像装置

61相机

62光源

80控制装置

81实行部

82状态判断部

83有无判定部

84板厚判别部

90由摄像装置拍摄的图像

90a～90c区域

91处理区域

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的一实施方式进行说明。以下的附图中，对相同的或相应的构成，标以相同的或相应的符号，并省略其说明。

图1是本发明一实施方式的玻璃基板检查系统的侧视图。以下的各图中，X方向为盒30的长边方向，Z方向表示上下方向。另外，X方向及Z方向为相互垂直的方向。

玻璃基板检查系统10具备将玻璃基板20从盒30中取出的取出装置40和对利用取出装置40从盒30中取出的玻璃基板20进行检查的检查装置50。基于检查装置50的检查结果，将玻璃基板20分类为无缺陷的优质品和有缺陷的劣质品。将优质品和劣质品收纳在不同的回收盒中。