[发明专利]玻璃基板检查系统以及玻璃基板的制造方法

权利要求书

1.一种玻璃基板检查系统，具备将玻璃基板从盒中取出的取出装置和对利用所述取出装置从所述盒中取出的玻璃基板进行检查的检查装置，所述盒具有多个能够收纳玻璃基板的收纳位置，其特征在于，

所述玻璃基板检查系统具有在每个所述收纳位置使所述取出装置进行从所述收纳位置取出所述玻璃基板的动作的实行部，和

在每个所述收纳位置判定有无所述玻璃基板的有无判定部；

对于由所述有无判定部判定为无所述玻璃基板的收纳位置，所述实行部使所述取出装置不进行取出动作。

2.如权利要求1所述的玻璃基板检查系统，其特征在于，

所述玻璃基板检查系统还具有在每个所述收纳位置对收纳在所述收纳位置的所述玻璃基板的板厚是否在规定范围内进行判别的板厚判别部；

对于由所述板厚判别部判别为所述板厚在规定范围外的玻璃基板的收纳位置，所述实行部使所述取出装置不进行取出动作。

3.如权利要求2所述的玻璃基板检查系统，其特征在于，当存在由所述板厚判别部判别为所述板厚在规定范围外的玻璃基板时，所述实行部针对所述盒的所有收纳位置中止所述取出动作。

4.如权利要求1～3中任一项所述的玻璃基板检查系统，其特征在于，

所述玻璃基板检查系统还具备对所述盒进行拍摄的摄像装置；

通过对由所述摄像装置拍摄的图像进行图像处理，所述有无判定部在每个所述收纳位置判定有无所述玻璃基板。

5.如权利要求4所述的玻璃基板检查系统，其特征在于，

所述有无判定部在所述图像中设定与多个所述收纳位置对应的多个处理区域，对各处理区域进行图像处理，从而在每个所述收纳位置判定有无所述玻璃基板；

多个所述处理区域沿规定方向排列；

针对沿所述规定方向将所述图像分割成3个以上而得到的各区域中的每一个区域设定各所述处理区域在所述规定方向上的尺寸。

6.如权利要求4或5所述的玻璃基板检查系统，其特征在于，

所述有无判定部在所述图像中设定与多个所述收纳位置对应的多个处理区域，对各所述处理区域进行图像处理而抽出各所述处理区域的特征值，将抽出的特征值与基准值进行比较，从而在每个所述收纳位置判定有无所述玻璃基板；

多个所述处理区域沿规定方向排列；

针对沿所述规定方向将所述图像分割成3个以上而得到的各区域中的每一个区域设定与各所述处理区域的特征值进行比较的基准值。

7.如权利要求4～6中任一项所述的玻璃基板检查系统，其特征在于，

所述盒为上方呈开放状态的箱状，且在上边缘具有直线状部分；

所述玻璃基板检查系统还具有状态判断部，该状态判断部通过对由所述摄像装置拍摄的图像进行图像处理，来判断所述盒的所述直线状部分与所述摄像装置的位置关系是否处于正常状态；

当由所述状态判断部判断为所述位置关系处于异常状态时，所述实行部针对所述盒的所有收纳位置中止所述取出动作。

8.如权利要求1～7中任一项所述的玻璃基板检查系统，其特征在于，所述玻璃基板为在中心部具有圆孔的磁记录媒体用玻璃基板。

9.一种玻璃基板的制造方法，具有利用权利要求1～8中任一项所述的玻璃基板检查系统进行的检查工序。