[发明专利]一种柔性OLED及其制备方法有效
申请号: | 201210271246.3 | 申请日: | 2012-07-30 |
公开(公告)号: | CN102760846A | 公开(公告)日: | 2012-10-31 |
发明(设计)人: | 何剑;苏君海;张色冯;柯贤军;张雪峰;王勃;何基强 | 申请(专利权)人: | 信利半导体有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L51/52;H01L51/50 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 曹志霞 |
地址: | 516603 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 柔性 oled 及其 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种OLED的制作技术领域,尤其涉及一种柔性OLED及其制备方法。
背景技术
OLED显示器的应用越来越广泛。在现今,商业化的OLED显示器几乎全部采用玻璃作为基板,在制作完成后,再采用玻璃后盖进行封装,其制作过程一般为:准备玻璃基板,然后对玻璃基板进行前清洗,在玻璃基板上依次沉积ITO层和金属层(如Cu、Mo/Al/Mo、Cr等),然后对其进行清洗、金属线路刻蚀、ITO线路刻蚀、PI图案制作、RIB图案制作,再进行蒸镀各有机功能层及阴极,然后再用玻璃后盖进行封装;这种工艺得到的OLED不仅使得整个器件重,而且在外力作用下很容易破碎。
由此可见,如何减轻OLED的重量以及提高OLED的抗破坏能力,是目前本领域需要解决的技术问题。
发明内容
有鉴于此,本发明的目的在于提供一种柔性OLED的制备方法,通过改进材料选择及工艺,制得的柔性OLED重量减轻,抗破坏能力提高,不易破碎。基于此,本发明还提供一种柔性OLED。
为解决上述技术问题,本发明的技术方案是:
一种柔性OLED制备方法,包括如下步骤:
1)将PET薄片作为基板固定在一支撑板上,而后对PET基板表面进行清洗并烘干,再在PET基板上形成一阻挡层,所述阻挡层由聚合物薄膜层与高光透过率的无机材料薄膜层依次交替沉积而成,所述聚合物薄膜层与无机材料薄膜层的折射率与PET的折射率相当;
2)在设置了阻挡层的基板上制作ITO层和金属层(如Cu、Mo/Al/Mo、Cr等)并完成金属线路和ITO线路刻蚀、PI图案制作、RIB图案制作,在金属线路和ITO线路刻蚀时,通过对刻蚀液进行机械搅拌或超声搅拌,改善刻蚀效果,消除金属和ITO残留之现象;
3)而后送入蒸镀腔中蒸镀有机功能层和阴极;
4)在阴极表面采用真空蒸镀的方式蒸镀薄膜封装层,所述薄膜封装层由至少一层有机材料层及至少一层无机材料层交替设置而成;
5)将基板与支撑板剥离。
优选地,所述聚合物薄膜层采用聚乙烯酸酯或聚丙烯酸酯或聚对二甲苯制成。
优选地,所述高光透过率的无机材料薄膜层为A12O3或SiO2或MgO或MgF2制成。
优选地,所述阻挡层远离基板的最上一层为聚合物薄膜层。
优选地,所述封装层中远离基板的最上一层为无机材料层。
优选地,所述有机材料层由NPB或m-MTDATA或TPD或Alq3或BCP制成,所述无机材料层由Al2O3、SiO2或MgO或MgF2制成。
优选地,所述粘结剂为环氧树脂或有机硅树脂。
优选地,所述粘结剂为环氧树脂,步骤1)中,在用环氧树脂将基板与支撑板固定前,先将环氧树脂在低强度的UV光照射下进行交联固化;步骤5)中的剥离为:采用高强度的UV光从支撑板一侧照射,再进行低温加热、水浴加热。
优选地,所述粘结剂为有机硅树脂,步骤1)中,有机硅树脂中含有吸湿成分,在基板与支撑板固定后,粘结剂处于粘稠态,但具有一定的粘接强度,使得PET基板与支撑板之间不会发生相对位移;步骤5)中的剥离为:在不超过60℃的温水中浸泡10-60min,然后采用机械方式分离。
本发明的一种柔性OLED,由前述的制备方法制得。
与现有技术相比,本发明的柔性OLED的制备方法,由于采用PET薄片作为基板,在PET基板上设置阻挡层,阻挡层由聚合物薄膜与高光透过率的无机材料薄膜交替沉积而成,得到的柔性OLED,由于基板为PET薄片,因而柔韧性好,耐冲击、重量轻,光透过率高,由于设置前述的聚合物薄膜及无机材料有薄膜交替形成的阻挡层,因而蒸汽透过率及氧气透过率低,使用寿命长。
具体实施方式
为了使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案,下面通过具体的实施例对本发明作进一步的详细说明。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
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