[发明专利]晶圆传送装置控制电路、晶圆传送装置以及光刻设备

权利要求书

1.一种晶圆传送装置控制电路，用于控制晶圆传送装置内的真空信号及其供给，其特征在于所述晶圆传送装置控制电路包括：第一电阻器、第二电阻器、第三电阻器、第四电阻器、第五电阻器、第六电阻器、第一运算放大器以及第二运算放大器；

其中，所述第一电阻器的一端连接至第一晶圆传送真空基准信号，所述第一电阻器的另一端连接所述第一运算放大器的反向输入端；所述第二电阻器的一端连接至所述第一运算放大器的反向输入端，所述第二电阻器的另一端连接至所述第一运算放大器的输出端；所述第三电阻器的一端连接至第二晶圆传送真空基准信号，所述第三电阻器的另一端连接所述第一运算放大器的正向输入端；所述第四电阻器的一端连接所述第一运算放大器正向输入端，所述第四电阻器的另一端接地；所述第一运算放大器的输出端连接至所述第二运算放大器的正向输入端；所述第二运算放大器的反向输入端连接至所述第二运算放大器的输出端；所述第二运算放大器的输出端还连接至所述第五电阻器的一端，所述第五电阻器的另一端连接至所述第六电阻器的一端；所述第六电阻器的另一端作为所述晶圆传送装置控制电路的输出端；

并且所述晶圆传送装置控制电路还包括：可调电阻器，其中所述可调电阻器的两个固定端分别连接至所述第五电阻器的两端；并且其中，通过控制所述可调电阻器的阻值调节端来调节与所述第五电阻器并联的有效电阻值的大小。

2.根据权利要求1所述的晶圆传送装置控制电路，其特征在于，在晶圆传送装置中的机械臂上产生的真空电压信号低于阈值电压信号的情况下，通过控制所述可调电阻器的阻值调节端来调节与所述第五电阻器并联的有效电阻值的大小。

3.根据权利要求1或2所述的晶圆传送装置控制电路，其特征在于，在晶圆传送装置中的机械臂上产生的真空电压信号等于或者高于阈值电压信号的情况下，不通过控制所述可调电阻器的阻值调节端来调节与所述第五电阻器并联的有效电阻值的大小。

4.根据权利要求1或2所述的晶圆传送装置控制电路，其特征在于，第一电阻器R181的阻值为47k欧姆；第二电阻器R182的阻值为47k欧姆；第三电阻器R183的阻值为47k欧姆；第四电阻器R184的阻值为47k欧姆；第五电阻器R185的阻值为22k欧姆；第六电阻器R186的阻值为33k欧姆。

5.根据权利要求1或2所述的晶圆传送装置控制电路，其特征在于，所述可调电阻器R1的最大阻值为50k欧姆。

6.一种采用了根据权利要求1至5所述的晶圆传送装置控制电路的晶圆传送装置。

7.一种采用了根据权利要求6所述的晶圆传送装置的光刻设备。