[发明专利]一种氮化硅陶瓷球的制备方法

权利要求书

1.一种氮化硅陶瓷球的制备方法，该制备方法包括如下步骤：

（1）将氮化硅和烧结助剂混合、造粒、冷等静压成型处理，得到氮化硅陶瓷球素坯；

（2）在步骤（1）得到的素坯表面涂隔离层，干燥后放入玻璃容器，经热处理后，在真空下进行氢氧火焰焊封，焊接点加入与所述玻璃容器相同的材料，得到玻璃容器包封的素坯；

（3）在无压状态下，将步骤（2）得到的玻璃容器包封的素坯放入坩埚，先进行升温至玻璃容器软化，然后在氮气或氩气保护下，进行热等静压烧结，即得。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，按质量百分比计，氮化硅为92%~98%，烧结助剂为2%~8%。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述的烧结助剂采用MgO、Al₂O₃、Y₂O₃、La₂O₃、Yb₂O₃、CeO₂、Lu₂O₃和Eu₂O₃中的一种或多种；优选为Al₂O₃、Y₂O₃。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的制备方法，其特征在于，在步骤（1）中，所述冷等静压成型处理的压力为100~250MPa；优选为150~220MPa。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的制备方法，其特征在于，在步骤（2）中，所述隔离层为氮化硼或石墨。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的制备方法，其特征在于，在步骤（2）中，所述玻璃容器为石英玻璃容器、硼硅酸盐玻璃容器、高硅氧玻璃容器或硅酸铝玻璃容器；优选地，所述玻璃容器的软化温度为1000~1400℃。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的制备方法，其特征在于，在步骤（2）中，所述热处理的温度为900~1300℃，保温时间为0.5~3h。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的制备方法，其特征在于，在步骤（2）中，所述真空度为10-1~10-3Pa，优选为10-1Pa。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的制备方法，其特征在于，在步骤（3）中，所述热等静压烧结的温度为1700~2000℃，保温时间为0.5~5h，氮气或氩气的压力为50~250MPa。