[发明专利]压电元件以及压电元件的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及如下的压电元件的制造方法以及压电元件，该压电元件的制造方法在以晶圆(wafer)单位来制造盖(lid)、基底(base)及振动片时，不会使多余的气体(gas)残留在封装体(package)内。

背景技术

压电元件需要进一步实现小型化。在日本专利公开公报特开2010-109528中，提出了如下的技术，作为实现量产化的技术。例如，该技术是利用，从在垂直方向将包括压电振动片的夹于具有与压电晶圆相类似形状的盖晶圆及基底晶圆之间，以将此三层基板彼此接合。

在上述技术中，为了将压电晶圆与基底晶圆的电极连接一起，电极是形成在具有可挠性的树脂突起部的表面上。这确保经由该突起状的电极来进行导通。另外，对压电晶圆、盖晶圆以及基底晶圆是以等离子(plasma)接合来进行接合。

然而，等离子接合需要大设备，希望利用简单的方法来将压电晶圆、盖晶圆以及基底晶圆予以接合。另外，该简单方法也需要确保压电晶圆与基底晶圆的电极之间的电性连接，而且为了确保压电元件的产品稳定性，需要在压电元件内，将有害气体或水分予以除去。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供如下的压电元件的制造方法、及压电元件，所述压电元件的制造方法确实地将电极之间予以电性接合，并且使压电元件内不包含有害气体或水分。

第一观点的压电元件包括：压电振动板，具有压电振动片、框体、及一对引出电极，所述压电振动片形成有一对激振电极，所述框体包围压电振动片且与压电振动片形成为一体，且包含第一主面与第二主面，所述一对引出电极从激振电极引出至框体的第一主面为止；第一板，具有第一面与第二面，且第二面接合于第一主面，所述第一面具有一对外部电极，所述第二面具有与一对外部电极形成电性连接的一对连接电极；第一玻璃密封材料，以环绕框体的第一主面的周缘的方式而呈环状地配置，用以将所述第一板与所述框体的所述第一主面予以接合；以及导电性粘接剂，将一对引出电极与一对连接电极予以电性连接。

第二观点的压电元件的制造方法准备包括多个压电振动板的压电晶圆，所述压电振动板具有压电振动片、框体、及一对引出电极，所述压电振动片形成有一对激振电极，所述框体包围压电振动片且与压电振动片形成为一体，且包含第一主面与第二主面，所述一对引出电极从激振电极引出至框体的第一主面为止。而且，制造方法包括如下的步骤：准备第一晶圆，所述第一晶圆包含多个第一板，且在相邻的第一板之间形成有贯通孔与侧面电极，所述第一板具有第一面及第二面，所述第一面包含一对外部电极，所述第二面包含一对连接电极且处于第一面的相反侧，所述贯通孔从第一面贯通至第二面为止，所述侧面电极将外部电极与连接电极电性连接于贯通孔；将第一玻璃密封材料涂布至框体和第一板的周围的至少一个，对涂布的第一玻璃密封材料进行预煅烧；对第一玻璃密封材料进行预煅烧之后，将导电性粘接剂涂布至引出电极和连接电极的至少一个；以及第一接合步骤，在导电性粘接剂的涂布步骤之后，将压电晶圆与第一晶圆予以接合。

根据本发明第一观点的压电组件，因为不包含有害气体或水分，故会高度稳定地振动或振荡。根据本发明第二观点的制造方法，确保电极之间的电性连接，并且使压电元件内不包含有害气体或水分。

附图说明

图1是第一压电元件100的分解立体图。

图2A是第一水晶框架10、第一基底11、以及第一盖12经接合之后的剖面图，且是图1的A-A′剖面图。图2B是在第一基底11上形成有密封材料SLa时的平面图。图2C是在第一基底11上形成有密封材料SLc时的平面图。

图3是表示第一压电元件100的制造的流程图。

图4是水晶晶圆10W的平面图。

图5是基底晶圆11W的平面图。

图6是盖晶圆12W的平面图。

图7是第二压电元件110的分解立体图。

图8是水晶晶圆20W的平面图。

图9是基底晶圆21W的平面图。

图10是第三压电元件120的分解立体图。

图11是水晶晶圆30W的平面图。

附图标记：

10、20、30：水晶框架

10W、20W、30W：水晶晶圆

11、21：基底

11W、21W：基底晶圆

12、22：盖

12W、22W：盖晶圆

13：导电性粘接剂

100、110、120：压电元件

101、201、301：水晶振动部