[发明专利]压电元件以及压电元件的制造方法

权利要求书

1.一种压电元件，其特征在于包括：

压电振动板，具有压电振动片、框体、及一对引出电极，所述压电振动片形成有一对激振电极，所述框体包围所述压电振动片且与所述压电振动片形成为一体，且包含第一主面与第二主面，所述一对引出电极从所述激振电极引出至所述框体的所述第一主面为止；

第一板，具有第一面与第二面，且所述第二面接合于所述第一主面，所述第一面具有一对外部电极，所述第二面具有与所述一对外部电极形成电性连接的一对连接电极；

第一玻璃密封材料，以环绕所述框体的所述第一主面的周缘的方式而呈环状地配置，用以将所述第一板与所述框体的所述第一主面予以接合；以及

导电性粘接剂，将所述一对引出电极与所述一对连接电极予以电性连接。

2.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于：

所述框体为包含四个边的矩形形状，所述第一玻璃密封材料是配置成在所述框体的一个边的宽度内，将所述导电性粘接剂予以包围。

3.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于包括：

城堡形部分，在将所述第一面与所述第二面予以连结的侧面，向所述第一板的中心方向凹陷；以及

一对侧面电极，形成于所述城堡形部分，且从所述一对外部电极起，电性连接着所述一对连接电极。

4.根据权利要求3所述的压电元件，其特征在于包括：

城堡形部分，在将所述第一面与所述第二面予以连结的侧面，向所述第一板的中心方向凹陷；以及

一对侧面电极，形成于所述城堡形部分，且从所述一对外部电极起，电性连接着所述一对连接电极。

5.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于包括：

第二板，接合于所述第二主面，所述第二主面将所述压电振动片予以密闭；以及

第二玻璃密封材料，以环绕所述框体的所述第二主面的周缘的方式而呈环状地配置，用以将所述第二板与所述框体的所述第二主面予以接合。

6.根据权利要求2所述的压电元件，其特征在于包括：

第二板，接合于所述第二主面，所述第二主面将所述压电振动片予以密闭；以及

第二玻璃密封材料，以环绕所述框体的所述第二主面的周缘的方式而呈环状地配置，用以将所述第二板与所述框体的所述第二主面予以接合。

7.根据权利要求3所述的压电元件，其特征在于包括：

第二板，接合于所述第二主面，所述第二主面将所述压电振动片予以密闭；以及

第二玻璃密封材料，以环绕所述框体的所述第二主面的周缘的方式而呈环状地配置，用以将所述第二板与所述框体的所述第二主面予以接合。

8.根据权利要求4所述的压电元件，其特征在于包括：

第二板，接合于所述第二主面，所述第二主面将所述压电振动片予以密闭；以及

第二玻璃密封材料，以环绕所述框体的所述第二主面的周缘的方式而呈环状地配置，用以将所述第二板与所述框体的所述第二主面予以接合。

9.根据权利要求1所述的压电元件，其特征在于：

所述压电振动片是具有厚度剪力振动模式的压电振动片。

10.一种压电元件的制造方法，所述压电组件为权利要求1所述的压电组件，其特征在于包括如下的步骤：

准备包括多个压电振动板的压电晶圆，所述压电振动板具有压电振动片、框体、及一对引出电极，所述压电振动片形成有一对激振电极，所述框体包围所述压电振动片且与所述压电振动片形成为一体，且包含第一主面与第二主面，所述一对引出电极从所述激振电极引出至所述框体的所述第一主面为止；

准备第一晶圆，所述第一晶圆包含多个第一板，且在相邻的所述第一板之间形成有贯通孔与侧面电极，所述第一板具有第一面及第二面，所述第一面包含一对外部电极，所述第二面包含一对连接电极且处于所述第一面的相反侧，所述贯通孔从所述第一面贯通至所述第二面为止，所述侧面电极将所述外部电极与所述连接电极电性连接于所述贯通孔；

将第一玻璃密封材料涂布至所述框体和所述第一板的周围的至少一个；

对涂布的所述第一玻璃密封材料进行预煅烧；

对所述第一玻璃密封材料进行预煅烧之后，将导电性粘接剂涂布至所述引出电极和所述连接电极的至少一个；以及

第一接合步骤，在所述导电性粘接剂的涂布步骤之后，将所述压电晶圆与所述第一晶圆予以接合。