[发明专利]一种用于MOCVD设备GaN外延MO源供给系统

权利要求书

1.一种用于MOCVD设备GaN外延MO源供给系统，其特征是，包括分别通过载气进气管与气源（3）相连的标准管路、双稀释管路、双重标准管路、浓度计管路和双源瓶串联管路；所述标准管路、双稀释管路、双重标准管路、浓度计管路和双源瓶串联管路分别通过MO源出气管与Run/Vent切换回路（1）相连；所述气源通过管道与Run/Vent切换回路（1）相连；

所述标准管路包括源瓶部件，该源瓶部件的载气进气管上装有质量流量控制器（18），该源瓶部件的MO源出气管上装有压力控制器（19）；

所述双稀释管路包括源瓶部件，该源瓶部件的载气进气管上装有质量流量控制器（28），该源瓶部件的MO源出气管分为两支，一支通过压力控制器（29）与一干泵（2）相连，另一支通过质量流量控制器（212）与Run/Vent切换回路（1）相连；所述双稀释管路的载气进气管通过质量流量控制器（211）与双稀释管路的MO源出气管相连；

所述双重标准管路包括两个源瓶部件，其中一个源瓶部件的载气进气管上装有质量流量控制器（38），该源瓶部件的MO源出气管上装有压力控制器（39）；另一个源瓶部件的载气进气管上装有质量流量控制器（48），该源瓶部件的MO源出气管上装有压力控制器（49）；

所述浓度计管路包括源瓶部件，该源瓶部件的载气进气管上装有质量流量控制器（58），该源瓶部件的MO源出气管上串联有浓度计（511）和压力控制器（59）；

所述双源瓶串联管路包括两个串联的源瓶部件，一个源瓶部件的MO源出气管与另一个源瓶部件的载气进气管相连，一个源瓶部件的载气进气管上装有质量流量控制器（68），另一个源瓶部件的MO源出气管上串联有浓度计（611）和压力控制器（69）。

2.根据权利要求1所述的用于MOCVD设备GaN外延MO源供给系统，其特征是，所述标准管路、双稀释管路、双重标准管路、浓度计管路和双源瓶串联管路的源瓶部件包括源瓶本体，该源瓶本体的进气端和出气端上均装有手动隔离阀。

3.根据权利要求1所述的用于MOCVD设备GaN外延MO源供给系统，其特征是，所述标准管路、双稀释管路、双重标准管路、浓度计管路和双源瓶串联管路的载气进气管和MO源出气管之间通过一排气管道相连，该排气管道上设有手动隔离阀；所述排气管道与干泵（2）相连。

4.根据权利要求1所述的用于MOCVD设备GaN外延MO源供给系统，其特征是，所述标准管路、双稀释管路、双重标准管路、浓度计管路和双源瓶串联管路的载气进气管上质量流量控制器（18,28,38,48,58,68）的进口和出口出均设置有气动隔离阀（15,25,35,45,55,65）。

5.根据权利要求1所述的用于MOCVD设备GaN外延MO源供给系统，其特征是，所述标准管路、双稀释管路、双重标准管路、浓度计管路和双源瓶串联管路的MO源出气管上压力控制器（19,29,39,49,59,69）的入口处均装有气动隔离阀（16,26,36,46,56,66）。

6.根据权利要求1所述的用于MOCVD设备GaN外延MO源供给系统，其特征是，所述标准管路、双稀释管路、双重标准管路、浓度计管路和双源瓶串联管路的载气进气管和MO源出气管通过气动隔离阀（17,27,37,47,57,67）相连。

7.根据权利要求2所述的用于MOCVD设备GaN外延MO源供给系统，其特征是，所述源瓶本体位于恒温水浴槽内。

8.根据权利要求2所述的用于MOCVD设备GaN外延MO源供给系统，其特征是，所述标准管路的源瓶部件内装有TEGa；所述双稀释管路的源瓶部件内装有TMAl；所述双重标准管路的源瓶部件内均装有TMGa；所述浓度计管路的源瓶部件内装有Cp2Mg；所述双源瓶串联管路的源瓶部件内均装有TMIn。