[发明专利]一种稀土绿碳化硅及其用途和稀土绿碳化硅磨料磨具

权利要求书

1.一种稀土绿碳化硅，含有0.01～3％的以硅化稀土和碳化稀土形式存在的以下一组稀土元素中的至少一种元素：钪、钇、镧、铈、镨、钕、钷、钐、铕、钆、铽、镝、钬、铒、铥、镱、镥，其特征是，还含有微量的该稀土元素的氯化物。

2.根据权利要求1所述的稀土绿碳化硅，其特征是，所述的稀土元素氯化物的氯含量在0.01～999ppm。

3.根据权利要求1～2中任一项所述的稀土绿碳化硅，其特征是，所述的稀土元素为铈。

4.根据权利要求1～2中任一项所述的稀土绿碳化硅，其特征是，所述的稀土元素为钇。

5.根据权利要求1～2中任一项所述的稀土绿碳化硅，其特征是，所述的稀土元素为镧。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的稀土绿碳化硅用于制造氮化硅结合碳化硅材料。

7.根据权利要求1～5中任一项所述的稀土绿碳化硅用于制造碳化硅陶瓷材料。

8.根据权利要求1～5中任一项所述的稀土绿碳化硅用作磨料。

9.根据权利要求8所述的稀土绿碳化硅的用途，其特征是，将稀土绿碳化硅配制成线切割悬浮砂浆、用于切割晶体硅片。

10.一种稀土绿碳化硅磨具，由基材和固着在基材上的磨料构成，其特征是，所述的磨料含有如权利要求1～5中任一项所述的稀土绿碳化硅。