[发明专利]液晶显示面板及其制造方法

说明书

技术领域

本发明指一种液晶显示面板及其制造方法，该液晶显示面板的绝缘层具有经由剥离(lift-off)制程而产生的孔洞。

背景技术

在液晶显示面板的制程中，本领域技术人士皆知水气会对制程中的半导体材料造成损害或使其物理特性有缺陷，即半导体材料对水气极为敏感，尤其是对氧化物半导体而言，是故液晶显示面板制程中的绝缘层或保护层对于液晶面板中的元件来说格外重要，例如：开关元件、切换元件、薄膜电晶体...等，而影响绝缘层或保护层的效果的重要因素则是作为绝缘层或保护层的隔绝材料。近年来本领域技术人士皆尽力以改善制程或变更材料的方式来更有效地将水气隔绝于液晶面板中的氧化物半导体之外或是增加液晶面板中的的良率，例如：Sony于SID2010发表的文章中所述，可使用氧化铝(Al₂O₃)作为隔绝材料来使液晶面板中的元件稳定度大幅提高。

一般而言，液晶显示面板制程中的绝缘层或氧化层的蚀刻通常是以湿式蚀刻或干式蚀刻的方式来进行，其蚀刻后的结构如下所述。请参阅图1，其为绝缘层湿式蚀刻后的结构图，该结构100具有氧化物半导体层101和绝缘层(或保护层)102，其中孔洞103由湿式蚀刻所造成，而由于湿式蚀刻的关系，该孔洞103呈现上宽下窄的形状。请参阅图2，其为绝缘层干式蚀刻后的结构图，该结构200具有氧化物半导体层201和绝缘层(或保护层)202，其中孔洞203由干式蚀刻所造成，而由于干式蚀刻的关系，该孔洞203呈现上下同宽的形状。然而，由于部分隔绝材料的结构非常致密，例如氧化铝，故以湿式蚀刻或干式蚀刻的方式进行蚀刻，会有蚀刻率过低的情形，因而造成极难蚀刻的问题。

职是之故，申请人鉴于已有技术中所产生的缺失，经过悉心试验与研究，并一本锲而不舍的精神，终构思出本案「液晶显示面板及其制造方法」，能够克服上述缺点，以下为本案的简要说明。

发明内容

鉴于已有技术之中存在的缺失，本发明藉由特殊的液晶显示面板制程来解决具致密结构的隔绝材料极难蚀刻的问题，而藉由本发明所提出的下列构想即可解决已有技术的上述缺陷。

根据本发明的第一构想，提出一种液晶显示面板，其包含：一基板；一闸极金属层，形成于该基板上；一闸极绝缘层，形成于该闸极金属层上；一第一层，形成于该闸极绝缘层上，并具有一第一部分；以及一绝缘层，形成于该第一层上，并具有一第一边与一第二边，该第一边与该第二边形成一引洞以使该第一层的该第一部分外露，该第一边的延伸线与该第二边的延伸线于该第一部分上方相交于一点。

根据本发明的第二构想，提出一种液晶显示面板，其包含：一氧化铝层，具有一孔洞，该孔洞经由一剥离(lift-off)制程而产生。

根据本发明的第三构想，提出一种制造液晶显示面板的方法，其包含：提供一基板；形成一闸极金属层于该基板上；形成一闸极绝缘层于该闸极金属层上；形成一第一层于该闸极绝缘层上，该第一层的表面具有一区域；于该区域上形成一突出部；于该第一层与该突出部上形成一绝缘层；以及藉由一剥离(lift-off)制程将该突出部移除，以使该绝缘层形成一孔洞以外露该区域。

根据本发明的第四构想，提出一种液晶显示面板，其包含：一第一表面，用以接触一半导体层；一第二表面，用以接触一导电层；以及一连通结构，具有一孔洞形成在该第一与该第二表面间，且该孔洞在该第一表面的开口大于在该第二表面的开口。

根据本发明的第五构想，提出一种液晶显示面板，其包含：一第一层，其表面上具有一区域；以及一绝缘层，形成于该第一层上，且具有一孔洞，以使该区域外露，该孔洞朝向该区域的方向具有多个逐渐递增的截面积。

根据本发明的第六构想，提出一种制造液晶显示面板的方法，其包含：提供一半导体层，该半导体层的表面具有一区域；于该区域上形成一光阻层；于该半导体层与该光阻层上形成一保护层；以及藉由一剥离(lift-off)制程移除该光阻层，以贯穿该保护层而形成一通洞以露出该区域中的该半导体层。

附图说明

图1为绝缘层湿式蚀刻后的结构图；

图2为绝缘层干式蚀刻后的结构图；

图3为本发明的液晶显示面板第一制造方法流程图；

图4(a)-4(e)为本发明的液晶显示面板第一制造方法的相对应结构图；

图5为本发明的液晶显示面板第二制造方法流程图；

图6(a)-6(k)为本发明的液晶显示面板第二制造方法的相对应结构图；以及

图7为本发明的第一较佳实施例的结构图。

【主要元件符号说明】